Электродуговой испаритель

Электродуговой испаритель

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ЭЛЕКТРОДУГОВОЙ ИСПАРИТЕЛЬ, содержащий расходуемый катод, окруженный прикатодным электроизолированным экраном,- и заземленный фланец, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности работы он снабжен дополнительным прианодкым экраном и изолятором, размещенными прикатодным экраном и фланцем испарителя.

((9) ())) СООЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК

И))4 С 23 С 14 36.ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСХОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Ф

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИИ (21) 3263536/ 18-2 1 (25) 3478062(18-21 (22) 30.!2.80: (46) 07»11»88» Вюл» В 41 (72) Л.С,Гуревич и С.Н.Назиков ,(53) 621.793. 14 (088.8) ,(56) Блинов И.Г., Дороднов А М., Минайяев В.Е. и др. Вакуумные сильно- . точные плазменные устройства и нх применение в технологическом обору" дованни микроэлектроники. Обзор по электронной технике. .вып. 8 (269), М; ЦНИИ "Электроника", с» 65, 1974.

Саблев Л.11 ° и др. Электродуговой сорбционный высоковакуумный агрегат

ВЭД-I - Сб. Вопросы атомной науки и, ° техники. Серия: Физика и техника вы-; спКого вакуума,,вып. 1(1), Харьков, 1973..

I (54) (57) 3JEKTPOP3VOB0A HCIIAPHTEJIb, содержащий расходуемый катод, окруженный прикатодным электроизолированным экраном,.и заземленный фпанец, отличающийся тем, что, с целью повыиения надежности работы, он снабжен. дополнительным прианодным экраном и изолятором, размещеннымИ . между прикатодным экраном и фланцем испарителя.

1075748.Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к устройствам для получения геттерных слоев в ис" парительных нонногеттерных насосах.

Известен злектродуговой испаритель, используемый в испарительных геттерных насосах, выполненный в виде расходуемого катода, размещенного на фланце и изолированного от него с помощью изолятора, и электростатического экрана, окружающего расходуемый катод и изолятор.

Недостатком известного испарителя является недостаточная надежность ра- 15 боты испарителя, обусловленная воз.можностью переброса катодных пятен на нерабочую часть расходуемого катода.

Наиболее близким техническим ðeшением к изобретению является электродуговой испаритель, содержащий расходуемый катод, окруженный прикатодным электроиэолйрованным экраном, и заземленный флаиец. 25

Недостатком известного испарителя является низкая надежность работы испарителя вследствйе закорачивания за" вора между расходуемым катодом и электростатическим экраном матерна»:: jg лом расходуемого катода в процессе работы испарителя, что приводит к переходу катодных пятен дури на экран,. запылению изолятора и.:.как следствие .

1к аварийному выходу электродугового испарителя иэ строя.

Цель изобретения - повышение на- . дежности работы испарителя. . Указанная цель достигается тем, - что электродуговой испаритель, со " держащий расходуемый катод, окруженный прикатодным электроизолированным экраном, и заземленный фланец, снаб- жен дополнительным прианодным экраном и изолятором, размещенными между прикатофным экраном и фпанцем испарителя. . ° °

На чертеже представлена конструкция электродугового испарителя.

Иснаритель содержит расходуемый

«атод с рабочей зоной испарителя материала, ограниченный прикатодным экраном 2, который с помощью изолятора 3 электрически отделен от дополнительного прианодного экрана 4, укреп->5 ленного на изоляторе 5 испарителя, электрически изолирующего катод l от заземленного Фланца 6 испарителя.

Эл ектродуг оной испарнт ель р абот ает следующим образом, Катоджле пятна, являющиеся источником испаряемого материала, переме» щаются по рабочей торцовой поверхнос ти расходуемого катода 1, ограниченной прикатодным экраном 2. В процес" се .работы испарителя зазор между ка". тодом и экраном постепенно уменьшаезся за счет напыления испаряемого материала на часть прикатодного экрана, расположенную вблизи эоны испарения.

После возникновения короткого замыкания между катодом и экраном катодные пятна переходят на прикатодный эКран.

Под воздействием собственного магнитного поля испарителя, возникающего за счет.его рабочего тока, катодные пятна перемещаются по поверхности прикатодного экрана в сторону места подвода тока к испарителю, т.е. :.в сторону изолятора 5. Однако испарение материала прикатодного.экрана не может привести к .выходу изолятора 5 изза наличия прианодного экрана 4. Дпя запыления изолятора 5 необходим переход катодных пятен на прианодный эк.ран, который возможен только при наличии короткого замыкания между при-; катодным и анодным экранами. Иожно считать, что сопротивление этого ко-. роткого замыкания не превышает сопро- . тивления вакуумной дуги, т.е. должно быть ниже 1 Ом. Для . нормальной работы электродугового испарителя необхо-,. димо, чтобы сопротивление его изоля- тора 5, превышало величину 10 Ом, поэтому время работы испарителя после возникновения короткого замыкания до момента его аварийного выхода из строя из-за запыления изолятора 5 увеличийается примерно в 10 pas.Ýòo позволяет, в частности, устранять случайные "мостиковые" контакты между катодом и электростатическим экраном беэ разборки испарителя за счет прожигания этих контактов рабочим током дуги.

Кроме того, предложенная конструкция электродугового исларителя позволяет не только сигнализировать аварийное состояние работы испарителя (короткое замыкание между расходуемым катодом и электроизолированным экраном), .но н производить отключение источника питания. Для этого прикатодный электроизопнронанный экран подсоединяется к пол общительному полю1ректор Л.Пилипенко Редактор

Заказ 5571 исное д, ул. Проектная, 4»

Производств

3 ) 075748 Д су источника питания через реле тока, аварийного состояния, а его нормаль-. иормальио разомкнутый контакт кото- но замкнутый контакт - в цепи источрого установлен в цепи сигнализации ника питания испарителя,