PatentDB.ru — поиск по патентным документам

Способ получения тонких пленок

Патент 254304

Способ получения тонких пленок (патент 254304)

Авторы

Классы МПК

Способ получения тонких пленок

Иллюстрации

Способ получения тонких пленок (патент 254304)
Показать все

Реферат

 

ОП ИСАЙ ИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

2 54304

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства ¹

Кл. 48 о, 15, 00

Заявлено 17.V.1966 (Ле 1076099/22-1) с,присоединением заявки ¹

Приоритет

Опубликовано 07.Х.1969. Бюллетень ¹ 31

Дата опубликования описания 5.III.1970

МПК С 23с

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

УД

Авторы изобретения

ВЛ :.::ООТГ.;, ;:, Д. В. Белышкин и А. Ф. Первеев

Заявитель

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК

Известен способ получения тонкик пленок путем катодного распыления с использованием многокомпонентного, например мозаичного, катода из набора пластинок распыляемьп веществ.

К недостаткам этого способа относятся неоднородность имического состава пленок, трудность регулирования состава, а также сложность изготовления мозаичного катода.

Предложенный способ позволяет получать пленки, однородные по химическому составу, и легко регулировать ик состав. Он отличается тем, что в качестве многокомпонентного катода используют порошкообразную смесь распыляемых веществ.

Способ состоит в том, что тонкие пленки получают путем катодного распыления с использованием в качестве многокомпонентного катода порошкообразной смеси распыляемык веществ.

Для изготовления пленок порошки распыляемык веществ смешивают в необходимой концентрации и полученную смесь насыпа1от тонким слоем (2 — 5 лж) на проводящу1о под5 ложку, после чего осуществляют катодное распыление. Состав смеси необходимо регулировать в соответствии со скоростями рз пыленпя компонентов.

Прп использовании катодов с большой пло10 шалью возможно осаждение слоев покрыти» на больши: повер ностяк.

Предмет изобретения

Способ получения тонки.: пленок путем ка1 тодного распыления с использованием мпогокомпонентного катода, отличающийся тем, что, с целью получения однородны.; по пмпческому составу пленок, в качестве многокомпонентного катода используют норошкообраз20 ную смесь распыляемых веществ.