Способ получения пленок из смесей веществ катодны.\1 распылением

Способ получения пленок из смесей веществ катодны.\1 распылением

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОЬРИтИНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Саюз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 30.Х1.1965 (№ 1040374/22-1) Кл. 48Ь, 15/00 с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 29.Х11.1966. Бюллетень № 2

Дата опубликования описания 6.II.1967

Комитет по делам изобретений и открытии при Совете Министров

СССР

МПК С 23с

УДК 621.793.7(088.8) Авторы изооретения

О. А, Мотовилов, В. Н, Рождественский и О. Г. Рудина 1 т u I

Заявитель

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПЛЕНОК ИЗ СМЕСЕЙ ВЕЩЕСТВ

КАТОДНЫМ РАСПЫЛЕНИЕМ

Известны способы получения пленок из смесей веществ катодным распылением, в которых используются либо катоды из сплава, либо мозаичные катоды, представляющие собой набор примыкающих друг к другу площадок распыляемых веществ. Однако эти способы обладают следующими недостатками: е всегда представляется возможным приготовить сплав из исходных материалов; при распылении мозаичного катода на покрытии обнаруживается структура поверхности катода; на поверхности катода образуется пленка, обогащенная веществом с большей скоростью распыления.

Для получения пленок заданных состава и толщины предлагается способ, при котором пленку на подложку наносят последовательно с каждого из изолированных друг от друга катодов, причем время выдержки под каждым катодом соответствует времени напыления поpHcToI слоя из компонента соответствующего катода.

Предлагаемый способ состоит в том, что подложку поочередно помещают под катоды из папыляемых материалов. Во избежание образования слоистого покрытия из чередуюшихся пленок распыляемых компонентоВ Время очередного пребывания (экспозиция) подложки под каждым из катодов должно быть равно времени, необходимому для образования пористого слоя напыляющегося с данного катода вещества.

Способ осуществляется в вакуумной установке снабженной необходимым к личеством катодов (по числу компонентов смеси) . Процесс нанесения пленки смеси состоит пз ряда последовательно чередующихся экспозиций подложки под каждым из катодов.

Время образования слоя каждого из компонентов определяется, исходя из размеров молекул распыляющихся веществ (а) и реальных скоростей образования пленок (о). Тогда время пребывания образца под катодом (в случае двух катодов) не должно превышать

1 а величинь: Т

Изменяя напряжение на одном из катодов, высоту расположения его над образцом или углы рабочих секторов катодов, регулируют количественное соотношение компонентов в смеси.

Предлагаемый способ нанесения слоев из смесей обеспечивает возможность создания не только однородных, но также и неоднородных пленок, состав которых в направлении, перпендикулярном к подложке, изменяется по

30 заданному закону.

190757

Предмет изобретения

Составитель Портнова

Редактор Н. Корченко Техред Т. П. Курилко Корректоры: М. П. Ромашова и Г, Е. Опарина

Заказ 4457/2 Тираж 535 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, 2

Способ получения пленок из смесей веществ катодным распылением, отличающийся тем, что, с целью получения пленок заданных состава и толщины, пленку на подложку наносят последовательно с каждого из изолированных друг от друга катодов, причем время выдержки под каждым катодом соответствует времени напыления пористого слоя из компонента соответствующего катода.