Способ получения многокомпонентных ферромагнитных пленок катодным распылением

Патент 138791

Авторы

• Иванов Р.Д.
• Сиротенко И.Г.
• Спивак Г.В.

---

Классы МПК

• C23C14/36 - диодное распыление (C23C 14/35 имеет преимущество)
• H01F10/20 - ферритами
• H01F41/18 - путем катодного распыления