Устройство для химического травления

Устройство для химического травления

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ХИМИЧЕСКОГО tPABJlEHHH, преимущественно полупроводниковых пластин, по авт. св. № 752558, отличающееся тем, что, с целью повышения.качества травления, оно снабжено съемным фиксатором пластин в гнездах зубчатых колес, вьтолненным в виде втулки с фланцем, установленным с возможностью перекрытия среднего диаметра зубчатых колес, в котором выполнены отверстия для циркуляции рабочей жидкости . (Л

COOS СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИН

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н ABTOPGHCNhY СВИДЕТЕЛЬСТВ,Ф

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (61) 752558 (21) 3374704/18-21 (22) 29.12.81 (46) 30.06.84. Бюл. У 24 (72) Н.С. Кирсанов, И.Я. Блях и И.В. Байдалинов (53) 621.328.002(088.8) (56) 1. Авторское свидетельство СССР

8 752558, кл. Н 01 L 21/00, 12.10.77. (54)(57) 1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ, преимущественно полу„„SU„„1100659 А

3 g Н 01 L 21/00 ° . С 25 D 17/06

C проводниковых пластин, по авт. св.

У 752558, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повьш ения,качества травления, оно снабжено сьемным фиксатором пластин в гнездах зубчатых колес, выполненным в виде втулки с фланцем, установленным с возможностью перекрытия среднего диаметра зубчатых колес, в котором выполнены отверстия для циркуляции рабочей жидкости.

2. Устройство по п. 1, о л и ч а ю щ е е с я тем, что .оно снабжено магнитами, герметично

1100659 уста новленными в теле кассеты и на приводе один напротив дру.гого.

Изобретение относится к технологическому оборудованию для изготовления полупроводниковых приборов.

По основному авт. св. Ф 752558 известно устройство для химического травления, преимущественно полупроводниковых пластин, содержащее цилиндрическую полую камеру, в которой установлены зубчатые колеса с гнездами для пластин, и съемную кассету, соединенную с приводом, причем камера снабжена неподвижным зубчатым венцом, а зубчатые колеса установлены на съемной кассете с возможностью взаимодействия с зубчатым венцом камеры (1 3.

Однако известное устройство не обеспечивает качества травления заготовок, кроме того, в устройстве возможны случаи всплытия пластин из гнезд кассет.

Цель изобретения — повышение качества травления заготовок.

Поставленная цель достигается тем, что устройство для химического травления, преимущественно полупроводниковых пластин, снабжено съемным фиксатором пластин в гнездах зубчатых колес, выполненным в виде втулки с фланцем, установленным с возможно- стью перекрытия среднего диаметра зубчатых колес, в котором выполнены

-f отверстия для циркуляции рабочей жидкости, кроме того, устройство снабжено магнитами, герметично установленными в теле кассеты и на приводе один напротив другого.

На фиг. 1 представлено устройство, общий вид; на фиг. 2 — разрез А-А на фиг. 1, на фиг. 3 — вид В на фиг. 1; на фиг. 4 и 5 — средства автоматического управления устройством.

Устройство для химического травления имеет цилиндрическую полую камеру 1 с отверстиями в боковых стенках ниже уровня расположения пластин, к ним пристыкованы штуцер 2 подвода реактора и пневмокраны 3 и 4 отвода

2 реактива в слив и сборную емкость.

С внутренним объемом камеры 1 ниже уровня залива реактива соединено температурное реле 5, пристыкованное к боковой стенке камеры 1. Напротив дна камеры 1 расположен коллектор 6 обдува. Штуцер 2, пневмокраны 3 н 4, реле 5, коллектор 6 имеют связи с средствами автоматики. В тело съемной кассеты 7 герметично вмонтированы магниты 8, а ответные магниты 8 расположены на приводе 9, изолированном глухим дном. камеры 1. Зубчатые колеса 10, установленные на кассете

7, входят в зацепление с неподвижным зубчатым венцом 11 и на кассете 7 помещается съемный фиксатор 12 пластин в виде втулки с посадочным отверстием по центральному цилиндрическому выступу кассеты 7 и наружным фланцем, перекрывающим расположение зубчатых колес 10 с гнездами для пластин.

Устройство снабжено блоком 13 заправки реактивов, блоком 14 управления, блоком 15 пневмоуправления, блоком 16 дозирования определенного количества реактива, ванной 17 .аварийной нейтрализации, скафандра

18 для размещения дублирующего устройства.

Кассета 7 с пластинами, накрытыми фиксатором i2, помещается в камеру 1.

Из блока 13 заправки реактивов пос35 редством блока 14 управления и блока 15 пневмоуправления заливается в блок 16 дозирования определенное количество реактива и переливается в камеру 1 через штуцер 2 по команде блока 14 управления с программатором временных команд, который управляет в автоматическом режиме работой,привода 9, блока 16 дозирования и пневмокранами.Э и 4 отвода реактива.

45 Чо время проведения процесса температурное реле 5 фиксирует значение ,температуры реактива и через блок 14 управления и блок 15 пневмоуправления

3 11006 коллектором Ь может осуществляться обдув дна камеры 1 и охлаждение реактора до требуемого значения температуры. Передача вращения на кассету

7 осуществляется от привода 9 посред- 5 ством магнитов 8. Всплытию пластин препятствует фиксатор 12. В процессе работы при возникновении аварийной ситуации (остановка вращения кассеты, изменение режима травления из-за 1О дефектов защитного покрытия лицевой стороны пластин и пр.) кассета с пластинами может быть перенесена в ванну 17 аварийной нейтрализации с водой. В случае выхода из строя одного из устройств процесс может. быть продолжен в дублирующем устройстве, расположенном с первым в одном скафандре 18. Работа может производиться также и одновременно с двумя 20 устройствами как при полной идентич59 ности условий травления, так и при разных режимах. Таким образом, процесс травления автоматизируется. Качество травления повышается благодаря наличию фиксатора пластин в гнездах зубчатых колес и наличию магнитов в теле кассет и на приводе. Фиксатор препятствует всплытию пластин в гнездах зубчатых колес.

Привод кассеты через магниты обеспечивает, помимо функции передачи движения, повышение качества травления заготовок, так как магнитное поле воздействует на жидкость (травитель, вода) и микрочастицы коагулируют, образуя шлам, который находится во взвешенном состоянии, тем самым обеспечивая лучшие условия перемешивания жидкости, а следовательно, повышение качества травления.

1100659

f 100659

4Рий.5

ВНИИПИ Заказ 4588/39 Тира:к 683 Подписное

ЮЮЮВ»» » »

Филиал ДПП "Двтеат", г.Ужгород, ул,Проектная, 4