БЛЯХ МАРАТ ЯКОВЛЕВИЧ

  щ 752558 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социагистических Респтблик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 12.10.77 (21) 2535252/18-21 с присоединением заявки № (23) Приоритет (43) Опубликовано 30.07.80. Бюллетень № 28 (45) Дата опубликования описания 30.07.80 (51) M. Кл.з Н OIL 21/00 Государствекиый комитет (53) УДК 621.328.002. .54...

  1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ХИМИЧЕСКОГО tPABJlEHHH, преимущественно полупроводниковых пластин, по авт. св. № 752558, отличающееся тем, что, с целью повышения.качества травления, оно снабжено съемным фиксатором пластин в гнездах зубчатых колес, вьтолненным в виде втулки с фланцем, установленным с возможностью перекрытия среднего диаметра зубчатых колес, в котором выполнены отверстия для цир...