Устройство для химического травления

Устройство для химического травления

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

щ 752558

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социагистических

Респтблик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 12.10.77 (21) 2535252/18-21 с присоединением заявки № (23) Приоритет (43) Опубликовано 30.07.80. Бюллетень № 28 (45) Дата опубликования описания 30.07.80 (51) M. Кл.з

Н OIL 21/00

Государствекиый комитет (53) УДК 621.328.002. .54 (088.8) по делам изобрегекий

H открытий (72) Авторы изобретения

Н. С. Кирсанов, М. Я. Блях и Д. М. Запесоцкий (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ

Изобретение относится к технологическому оборудованию для изготовления полупроводниковых приборов.

Известно устройство для химического травления, содержащее цилиндрическую полую камеру, в которой установлены зубчатые колеса с гнездами для пластин, и съемную кассету, соединенную с приводом (1).

Однако такое устройство не обеспечивает высокого качества травления заготовок.

Цель изобретения — повышение качества травления заготовки.

Для этого в устройстве для химического травления, содержащем цилиндрическую полую камеру, в которой установлены зубчатые колеса с гнездами для пластин, и съемную кассету, соединенную с приводом, камера снабжена неподвижным зубчатым венцом, а зубчатые колеса установлены на съемной кассете с возможностью взаимодействия с зубчатым венцом камеры.

На чертеже изображено устройство, общий вид.

Устройство для химического травления содержит цилиндрическую камеру 1, в которой установлены зубчатые колеса 2 с гнездами 3, и съемную кассету 4, причем камера снабжена зубчатым венцом 5. Кассета 4 соединена с приводом 6.

Устройство работает следующим образом. На кассету 4 с зубчатыми колесами 2 отдельно помещают полупроводниковые пластины защитным покрытием вниз. В камеру 1 заливают травитель. Кассету 4 с пластинами опускают в камеру 1 с травителем, при этом кассета 4 посредством муфты входит в зацепление с центральным приводом 6, а шестерни 2 — с венцом 5. Посредством привода 6 через муфту кассете 4 передают вращательное движение, при этом зубчатые колеса 2, обегая вместе с кассетой 4 зубчатый венец 5, совершают вращение вокруг собственной оси и вокруг центральной оси камеры. Перемещение полупро15 водниковых пластин в среде травителя происходит по эпициклической кривой, что обеспечивает прохождение всех пластин через все области камеры 1, интенсивное перемешивание травителя, идентичность ус20 ловий травления всех пластин.

Формула изобретения

Устройство для химического травления, преимущественно полупроводниковых пла25 стин, содержащее цилиндрическую полую камеру, в которой установлены зубчатые колеса с гнездами для пластин, и съемную кассету, соединенную с приводом, о т л и ч аю щ ее с я тем, что, с целью повышения ка30 чества травления заготовок, камера снаб752558

Составитель В. Титов

Редактор Г. Улыбина Техред А. Камышниковп Корректоры: О, Иоанесян и P. Беркович

Заказ 2000/2 Изд. № 405 Тираж 889 Подписное

НПО «Поиск» Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, 7К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 жена неподвижным зубчатым венцом, а зубчатые колеса установлены на съемной кассете с возможностью взаимодействия с зубчатым венцом камеры.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидстсльство ССС1 № 419047, кл. С 236 3/00, 1972.