Устройство для закрепления тонкопленочных образцов

Устройство для закрепления тонкопленочных образцов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

СОЮЗ СООЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН (51)4 G 01 В 5/00

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ASTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТОЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

Il0 ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3665327/25-28 (22) 24.11.83 (46) 15.08.85. Бюл. В 30 (72) P.Ï. Селегин и И.И. Хаммадов (71) Центральное проектно-конструкторское и технологическое бюро научного приборостроения. АН УЗССР (53) 531.717(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

NP 533811, кл. G 01 В 5/00, 1976. (54)(57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЗАКРЕПЛЕНИЯ

ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ОБРАЗЦОВ, содержащее опорную базу, выполненную в виде кольца с плоской торцовой поверх„„SU„„1173151 A ностью, эластичный прижимной элемент и механизм прижима, о т л и ч а ющ е е с я тем, что, с целью уменьшения деформаций при закреплении, механизм прижима выполнен в виде двухстепенного карданного подвеса с ведущим наружным и ведомым внутренним кольцами, а прижимной элемент — в вире кольца с тороидальной торцовой, коническими внутренней. и наружной поверхностями, скрепленного с ведомым внутренним кольцом механизма прижима около меньшего основания конического кольца.

1 1

«Ю

Изобретение относится к сектрометрии, а именно к средствам закрепления равномерно растягиваемйх, в плоскости тонкопленочных образ» цов °

Цель изобретения — уменьшение деформаций при закреплении.

На фиг. 1 изображена опорная база", на фиг. 2 — образец, на фиг. 3 механизм прижима.

Устройство для .закрепления тон копленочных образцов содержит опор.ную базу 1, выполненную в виде кольца с плоской торцовой поверхностью, механизм прижима, выполненный в виде двухстепенного карданного подвеса с ведущим наружным кольцом

2 (изображены только части этого кольца), промежуточным кольцом 3 и ведомым внутренним кольцом 4.

Ведущее наружное кольцо 2 соединено с промежуточным 3 цилиндрическими шарнирами 5 и 6, а промежуточное 3 с ведомым внутренним 4 соединено цилиндрическими шарнирами 7 (показан только один шарнир).

На ведомом внутреннем кольце 4 закреплен эластичный прижимной элемент 8 с тороидальной торцовой, ко» ническими внутренней и наружной поверхностями. Крепление эластичного прижимного элемента 8 к внутренне173151

2 му ведомому кольцу 4 выполняется гайкой 9 близ меньшего основания конического кольца.

Устройство работает следующим образом.

Тонкопленочный образец 10 прикладывают к плоской торцовой поверхности опорной базы 1, приближают к нему до касания эластичный прижимной элемент 8 и с помощью механизма прижима нагружают его силой F (через шарниры 5 и 6 на промежуточное кольцо 3 передаются силы F/2, . которые показаны на чертеже).

Благодаря двухстепенной карданной подвеске прижимного элемента, последний равномерно прижимает тонконленочный образец к опорной базе.

В процессе прижима происходит деформация эластичного прижимного элемента, вследствие которой несколь

1 ко увеличивается диаметр большого (опорного) основания этого элемента.

Силами трения, действующими между тороидальной торцовой поверхностью прижимного элемента и тонкопленочным образцом, последний иэотропно растягивается в плоскости торца

ЗО, опорной базы, что позволяет минимизировать местные деформации при закреплении.

1173151

Заказ 5035/35

Тираж 651 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП"Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 йоставителв В.Романов

Редактор В.Ковтун Техред Т.Фанта Корректор С.йекмар т