Устройство для определения скорости травления

Устройство для определения скорости травления

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ СКОРОСТИ ТРАВЛЕНИЯ, содержащее источник заряженных частиц, кассету с набором образцов из пьезоэлементов и измерительную камеру, состоящую из t , КЛЛ/УХХуХУУуУ ХХУХхх X J Ьт гН г ffffffffff/MfW//y f MW 7J кожуха с окном для прохождения заряженных частиц, металлического основания , кварцевого пьезозлемента, и автогенератора, соединенного с кварцевым пьезоэлементом, отличающееся тем, что, с целью повьшения. точности, измерительная камера снабжена мишенью, выполненной из монокристаллического кварца, кристаллографическая ось Z которого ориентирована вдоль направления распространения заряженных частиц, а ее плоскость ориентирована под углом 45-60 к поверхности кварцевого § пьёзоэлемента и к направлению распространения заряженньк частиц. Ь .V-U С тттт N9 00 00

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (51)4 6 01 N 29/00 дг го а q

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABTOPGHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Ф

Ма

° Ф

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3616901/25-28 (22) 05.07.83 (46) 30,08.85. Вюл. Я - 32 (72) Л.А.Зубков, В.Н.Симонов, В.В.Малов и В.Е.Прядко (53) 534.232 (088.8) (56) Coburn I.N.. Minterc Н.F.

Ion-suiface interactions in plasma

etching. Journal of Applied physics, Vol. 49, У 8, augost, 1977. (54)(57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ

СКОРОСТИ ТРАВЛЕНИЯ, содержащее источник заряженных частиц, кассету с набором образцов из пьезоэлементов и измерительную камеру, состоящую из

„„Я0„„1176233 А кожуха с окном для прохождения заряженных частиц, металлического основания, кварцевого пьезоэлемента, и автогенератора, соединенного с кварцевым пьезоэлементом, о т л и— чающее с я тем, что, с целью повышения точности, измерительная камера снабжена мишенью, выполненной из монокристаллического кварца, кристаллографическая ось Z которого ориентирована вдоль направления распро- странения заряженных частиц, а ее плоскость ориентирована под углом

45-60 к поверхности кварцевого

\пьезоэлемента и к направлению распространения заряженных частиц.

1176233

Составитель Г. Рыжакова

Редактор С.Тимохина Техред С.Мигунова Корректор С.Шекмар

Заказ 5353/44 Тираж 897 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к йзмери-. тельной технике и может быть использовано в системе глубокого ионнохимического травления для контроля скорости удаления материала с поверх- 5 ности монокристаллических кварцевых пластин.

Целью изобретения является повышение точности.

На чертеже схематически изображе- 10 но устройство для определения скорости травления.

Устройство содержит источник 1 заряженных частиц, кассету 2 с набором образцов 3 из кварцевых пьеэоэле-,15 ментов, измерительную камеру 4, состоящую из кожуха 5 с окном 6 для прохождения заряженных частиц, металлического основания 7, кварцевого пьезоэлемента 8, автогенератора 9, 20 соединенного с кварцевым пьезоэлементом 8, мишени 10, выполненной из монокристаллического кварца, кристаллографическая ось Z которого ориентирована вдоль направления 25 распространения заряженных частиц, а ее плоскость ориентирована под углом 45-60ОС" к поверхности кварцевого пьезоэлемента 8 и к направлению распространения.. заряженных частиц. 30

Один конец кварцевого пьезоэлемента 8 предназначен для укрепления его на держателе 11, на основание которого устанавливается дополнительный кожух 12 с отверстием 13 для прохождения частиц стравленного слоя, внутри которого расположен кварцевый пьезоэлемент 8.

Устройство работает следующим образом.

При возбуждении источника 1 заряженных частиц пучок ионов падает на кассету 2 с набором образцов 3 из кварцевых пьезоэлементов, а через окно 6 кожуха 5 - на мишень 10, выполненную из монокристаллического кварца, причем кристаллографическая ось 2 мишени 10 и образцов 3 ориентирована вдоль направления распространения заряженных частиц.

Происходит травление образцов 3 из кварцевых пьезоэлементов и мишени 10, выполненной из монокристаллического кварца, и распыление материала с поверхности образцов 3 и мишени 10. Распыленный материал через отверстие 13 в дополнительном кожухе 12 попадает на кварцевый пьезоэлемент 8 и оседает на нем. Резонансная частота кварцевого пьезоэлемента 8, соединенного с автогенератором 9, понижается. Изменение частоты дЙ фиксируется на выходе автогенератора 9. IIo скорости изменения частоты автогенератора судят о скорости травления материала образцов.

Использование предлагаемого устройства позволяет повысить точность измерений за счет исключения нагрева пьезоэлемента,