ЗУБКОВ ЛЕВ АЛЕКСАНДРОВИЧ

  ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДНИЛЬСТВУ Сеюз Соеатсима Социалистическим Республик (11) 607333 1 и Г Ф у М- 4ис ° 4 Ф (61) Дополнительное к авт. свил-ву (22) Заявлено 21.04.75 (21) 2126603/18-21 с присоединением заявки № (23) Приоритет(43) Опубликовано 15.05.q8pюллетень №18 (4б) Дата опубликования описания 20.04,78 2 (61) М. Кл. Н 03 К 3/53 Гооударотееоаб комитет Co...

  УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ СКОРОСТИ ТРАВЛЕНИЯ, содержащее источник заряженных частиц, кассету с набором образцов из пьезоэлементов и измерительную камеру, состоящую из t , КЛЛ/УХХуХУУуУ ХХУХхх X J Ьт гН г ffffffffff/MfW//y f MW 7J кожуха с окном для прохождения заряженных частиц, металлического основания , кварцевого пьезозлемента, и автогенератора, соединенного с кварцевым пьезо...

  Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в системе глубокого ионно-химического травления для контроля скорости удаления материала с поверхности монокристаллических кварцевых пластин. Целью изобретения является повышение чувствительности и точности измерений за счет использования дифференциальной схемы измерения. В устройстве источник заряженных част...