Устройство для измерения скорости травления

Устройство для измерения скорости травления

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в системе глубокого ионно-химического травления для контроля скорости удаления материала с поверхности монокристаллических кварцевых пластин. Целью изобретения является повышение чувствительности и точности измерений за счет использования дифференциальной схемы измерения. В устройстве источник заряженных частиц возбуждает пучок ионов, который попадает на кассету с набором Образцов из кварцевых пьезоэлементов, а через , lOKHo для прохождения заряженных частиц корпуса - на мишень, выполненную в BUffe дополнительного кварцевого пьезозлемента. Происходит травление образцов и поверхности мишени. Распыленный материал с поверхности мишени оседает, на поверхности основного кварцевого пьезозлемента. Резонансная частота дополнительного кварцевого пьезоэлемента повышается на величину а f , а резонансная частота основного кварцевого пьезоэлемента уменьшается на величину Af-; Изменение частоты фиксируется на выходе автогенераторов. В результате разностная частота на выходе формирователя разности частоты изменится иа величину af Afj - Af, . Чем больше осаждается материала, стравленного с мишени на основной кварцевый пьезоэлемент, тем больше выигрыш в чувствительности измерения скорости травления. 1 ил. с «В (Л с СП СП

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН (!9) (1!) (5ц 4 С О! N 29/00

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3868688/25-28 (22) 19.03.85 . (46) 07.09.86. Бюл.У 33 (72) Л.А.Зубков, В.В.Малов, В,Н. Симонов и В.Е.Прядко (53) 534.232(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

К 1176233, кл. G О1 К 29/00, 1985.. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ СКОРОСТИ ТРАВЛЕНИЯ (57) Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в системе глубокого конно-химического травления для контроля скорости удаления материала с поверхности монокристаллических кварцевых пластин. Целью изобретения является повышение чувствительности и точности измерений эа счет использования дифференциальной схемы измерения. В устройстве источник заряженных частиц возбуждает пучок ионов, который попадает на кассету с набором образцов иэ кварцевых пьезоэлементов, а через

1окно для прохождения заряженных частиц корпуса — на мишень,.выполненную в виде дополнительного кварцевого пьезоэлемента. Происходит травление образцов и поверхности мишени, Распыленный материал с поверхности мишени оседает. на поверхности основного кварцевого пьезоэлемента. Резонансная частота дополнительного кварцевого пьезоэлемента повышается иа величину а f,, а резонансная частота основного кварцевого пьезоэлемента уменьшается на величину Af . Иэменех ние частоты фиксируется на выходе автогенераторов. В результате pasQ ностная частота на выходе формирователя разности частоты изменится иа величину hf ьГ - a f . Чем больше

2 осаждается материала, стравленного с мишени на основной кварцевый пьезоэлемент, тем больше выигрыш в чувствительности измерения скорости травления. 1 ил, Формулaиз обретения

ЗО

Устройство для измерения скорости травления, содержащее источник заряженных частиц, кассету с набором образцов иэ кварцевых пьезоэлементов и измерительную камеру, состоящую из корпуса с окном для прохождения заряженных частиц, основания, мишени, основного кварцевого пьезоэлемента и соединенного с ним первого автоге1п нератора, при этом плоскость мишени о ориентирована под углом 45-60 к поверхности основного кварцевого пьезо" элемента и к направлению распространения заряженных частиц, о т л и ч а"

1 ю щ е е с я тем, что, с целью повышения чувствительности и точности измерений, мишень выполнена в виде дополнительного кварцевого пьезоэлемента, устройство снабжено вторым б автогенератором, соединенным с дополнительньги пьезоэлементом, и формирователем разности частоты, соединенным с выходами автсгенераторов, 1 125591

Иэобр тение относится к измерительной TeõHèõе и может б1)!ть исполь эовано в системе глубокого ионнохимического травления для контроля скорости удаления материала с поверхности монокристаллических кварцевых пластин, Целью изобретения является повышение чувствительности и точности измерений за счет использования диф- lo ференциалъной схемы измерения, На чертеже изображено устройство для измерения скорости травления.

Устройство для измерения скорости травления содержит источник l заряженньтх частиц, кассе у 2 с набором образцов 3 из кварцевых пьезоэлементов, измерительную камеру 4, состоящую из корпуса 5 с окном 6 для прохождения заряженных частиц, основа- _#_ ния 7, мишени 8, основного кварцевого пьезоэлемента 9 и соединенного с ним автогенератора 10, при этом плоскость мигрени 8 ориентирована под углом 45-60 к поверхности основного кварцевого пьезоэлемента 9 и к направлению распространения заряженных частиц, мишень 8 выполнена в виде дополнительного кварцевого пьезоэлемента, второй антогецератор

11, соединенный с дополнительным кварцевым пьезоэлементом, формирователь 12 разности частоты, соединенный с выходами автогенераторов 10 и 11.

Устройство для измерения скорости травления работает следующим образом.

При возбуждении источника 1 заряженных частиц пучок ионов попадает на кассету 2 с набором образцов 3 из кварцевых пьезоэлементов, а через окно 6 для прохождения заряженных частиц корпуса 5 — на мишень Я, выполненную в виде дополнительного кварцевого пьезоэлемента. Происходит травление образцов 3 и поверхности мишени 8. Распыленный материал с поверхности мишени 8 оседает на поверхности основного кварцевого пьезоэлемента 9. Резонансная частота дополнительного кварцевого пьезоэлемента повышается на величину h,f, а резо2

2 нано ля частота основного кварцевого пьезоэлемента 9 уменьшается на величину hf, Изменение частоты фикси 2 руется на выходе автогенераторов 10 и ll, соответственно, В результате разностная частота на выходе формирователя 12 разности частоты изменится на величину 6 f = М - Af

2 1

Величина af определяет приращение частоты, обуславливающее дополнительное увеличение чувствительности измерения скорости травления. Чем больше осаждается материала, стравленного с мишени 8 на основной кварцевый пьезоэлемент 9, тем больше выигрыш в чувствительности, Эксперименты показывают, что масса распыленного и осажденного материала, а следовательно, приращение частоты df зависят от того, как мишень 8 ориентирована относительно источника 1 заряженных частиц и основного кварцевого пьезоэлемента 9, Эта ориентация определяется углами

, и < 2 . Угол максимального выброса распыляемого материала лежит в пределах 45-60 градусов.

1255912

ВНИИПИ Закаэ 4815/4Э Тнраж 278 Подпнсиое

Проивв.-полигр, пр-тие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4