Способ изготовления диодов шоттки

Способ изготовления диодов шоттки

Реферат

Способ изготовления диодов шоттки, включающий термическое окисление кремния, вскрытие окон в окисле, напыление металла, фотолитографию по металлу с оставлением его в окнах и в участках над окислом по периметру окон, формирование силицида металла в окнах и последующий высокотемпературный прогрев, отличающийся тем, что, с целью повышения температурной стабильности диода за счет устранения бокового роста силицида, после фотолитографии по металлу, но до высокотемпературного прогрева участки металла над окислом облучают ионами N⁺₂ дозой 10¹⁵ - 10¹⁶ ион/см² с энергией, обеспечивающей пробег ионов на 0,50 - 0,75 толщины металла.