Способ определения температуры поверхности
Патент 1255874
Авторы
Классы МПК
Способ определения температуры поверхности
Иллюстрации
Реферат
Изобретение относится к температурным измерениям и позволяет измерить температуру поверхности образцов в фотоэлектронном спектрометре с помощью фотоэлектронных спектров. Для этого перед воздействием рентгеновского излучения на исследуемую поверхность устанавливают диэлектрический датчик, приводя его в тепловое равновесие с ней,и регистрируют фотоэлектронный спектр датчика, а температуру поверхности определяют по СДВИГУ;линий фотоэлектронного спек тра относительно положения линий спектра от незаряженной поверхности датчика. В качестве датчика используют диэлектрическую поверхность образца. Для воспроизводимости результата необходимо соблюдать одинаковые условия облучения датчика и регистрации спектров. Степень зарядки и сдвиг спектральных линий зависят § от температуры поверхности. Сдвиг линий позволяет судить о температуре y/J поверхности. 1 з.п. ф-лы, 1 илл. ГО ел ел 00 4ib
СОЮЗ СОВЕТСНИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ
РЕСПУБЛИН (5D 4 G 01 К 7/40
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР
IlO ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3775115/24-10 (22) 31. 07. 84 (46) 07.09.86. Бюл. ¹ 33 (72) О.В.Петрова, И.Я.Колотыркин и Ю.Я.Томашпольский (53) 536.532(088.8) (56) Патент Японии № 50-21867, кл. G 01 К 11/20.
Авторское свидетельство СССР № 498515, кл. G 01 К 7/40. (54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ТЕМПЕРАТУРЫ ПОВЕРХНОСТИ (57) Изобретение относится к температурным измерениям и позволяет изме- рить температуру поверхности образцов в фотоэлектронном спектрометре с по;мощью фотоэлектронных спектров. Для этого перед воздействием рентгенов„„SU„„1255874 A 1 ского излучения на исследуемую поверхность устанавливают диэлектричес" кий датчик, приводя его в тепловое равновесие с ней,и регистрируют фотоэлектронный спектр датчика, а температуру поверхности определяют по сдвигу линий фотоэлектронного спектра относительно положения линий спектра от незаряженной поверхности датчика. В-качестве датчика используют диэлектрическую поверхность образца. Для воспроизводимости результата необходимо соблюдать одинаковые условия облучения датчика и регистрации спектров. Степень зарядки и сдвиг спектральных линий зависят ф от температуры поверхности. Сдвиг линий позволяет судить о температуре поверхности. 1 s.ï. ф-лы, 1 илл. С:
125587ч
Изобретение относится к области температурных измерений.
Целью изобретения явпяется измерение температуры поверхности образцов в фотоэлектронном спектрометре с помощью фотоэлектронных спектров.
На чертеже представлена градуировочная кривая для измерения температуры.
Диэлектрический датчик приводят в тепловое равновесие с исследуемой поверхностью образца, помещенного в камеру электронного спектрометра.
Под действием рентгеновского излучения на поверхности датчика образуется стабильный положительный заряд, которьй.приводит к одновременному сдвигу всех линий фотоэлектронного спектра датчика относительно положения линий незаряженной поверхности. Для воспроизводимости результатов необходимо соблюдать одинаковые условия облучения датчика и регистрации спектров,.
Степень зарядки и, следовательно, сдвиг спектральных линий зависят от температуры поверхности. Таким обра-. зом, сдвиг линий позволяет судить о температуре поверхности;
Если L — смещение линии в интер—
1 вале aL, то температура, отвечающая
b Ò этому сдвигу Т "- L ---1
Здесь лТ = Т„„— Т„; лТ, =-(L — т ) — (L Lо), где Т о аб ное значение положения линии в фогоэлектронном спектре на незаряженной поверхности, Т,,„,„„ .Т,,„; — соответственно максимальное и минимальное смеще-ния линии в диапазоне температур Р,Т, Для повышения точности измерений следует пользоваться градуированным графиком (фиг.1).
В случае измерения температуры поверхности диэлектрика в качестве датчика температуры служит сам исследуемый образец.
Пример, В качестве датчика используют монокристалл титаната бария Baij.O>. При комнатной температуре линии фотоэлектронного спектра этого кристалла сдвинуты на 11 эВ °
10 При нагреве его до 500 К сдвиг линий уменьшается,до 1 эВ. Таким образом, в интервале температур 300-500 К линии сдвигаются на 10 эВ. Для измерения промежуточных температур строится градуировочная кривая.
Формула изобретения
1. Способ определения температуры
20 поверхности, заключающийся в воздействии рентгеновского излучения на исследуемый объект и регистрации фотоэлектронного спектра, о т л и ч а ю шийся тем, что, с целью расши25 рения температурного диапазона измерений, повышения точности, воспроиз— водимости и упрощения измерений, перед воздействием рентгеновского излу1ения на поверхность;исследуемого объекта устанавлп:вают диэлектрический датчик, приводят его в тепловое равновесие с ней и регистрируют фотоэлектронный спектр датчика, а температуру поверхности определяют по
35 сдвигу линий фотоэлектронного спектра относительно положепия линий г спектра от незаряженной поверхности датчика.
2. Снос.об по и. 1, о т л и ч а ю шийся тем, что в качестве датчика используют диэлектрическую поверхность образца.
1255874
%. B
Ю
М
Ъ $
Ъ Я
Составитель Ю.Акопов
Редактор В.Иванова Техред И.Верес
Корректор Л.Пилипенко
Заказ 4813/41 Тираж 778 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Производственно-полиграфическое предприятие, г.ужгород, ул.Проектная, 4