Способ изготовления алюминиевого контакта большой площади
Патент 1263140
Авторы
Классы МПК
Способ изготовления алюминиевого контакта большой площади
Реферат
Способ изготовления алюминиевого контакта большой площади на кремниевой пластине, включающий подготовку поверхности пластины шлифовкой, нанесение слоя алюминия на пластину, нагрев и охлаждение пластины, отличающийся тем, что, с целью повышения качества контакта за счет улучшения адгезии алюминия к пластине, снижения переходного сопротивления и снижения разброса по толщине, кремниевую пластину шлифуют до шероховатости Ra не более 3,2·10-7 м, затем окисляют до образования слоя двуокиси кремния толщиной от 8·10-8 до 10-7м, а слой алюминия наносят контактированием расплава алюминия с кремниевой пластиной, нагретой до температуры от 923 до 1023 K, в течение времени от 0,5 до 1,5 с.