Способ формирования омических контактов к кремнию

Способ формирования омических контактов к кремнию

Реферат

 

Способ формирования омических контактов к кремнию, включающий нанесение молибдена на поверхность кремниевой подложки катодным распылением в тлеющем разряде в газовой среде, содержащей трехфтористый бор, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества контактов и повышения производительности способа, катодное распыление осуществляют в газовой среде состава, об.%:

Водород15-30 Трехфтористый борОстальное

при давлении 5·10 ^-2-8·10^-2 Па и плотности мощности разряда 0,1-0,5 Вт/см².