Способ изготовления преобразователя давления

Способ изготовления преобразователя давления

Реферат

Способ изготовления преобразователя давления, включающий в себя формирование тензоизмерительной схемы на одной из сторон пластины, разделение пластины на чувствительные элементы, установку их на металлический упругий элемент, отличающийся тем, что, с целью расширения температурного диапазона и повышения надежности, на другую сторону пластины наносят слой полупроводникового материала, а на металлический упругий элемент последовательно наносят слой ковара и стекла, после чего проводят электростатическое соединение упругого и чувствительного элементов при рабочем напряжении 3-5 кВ, температуре 490-510°C, времени выдержки 30-40 мин, причем слой полупроводникового материала соединяют со схемой токопроводящей перемычкой.