Михайлов П.Г.

 Способ изготовления преобразователя давления, включающий в себя формирование тензоизмерительной схемы на одной из сторон пластины, разделение пластины на чувствительные элементы, установку их на металлический упругий элемент, отличающийся тем, что, с целью расширения температурного диапазона и повышения надежности, на другую сторону пластины наносят слой полупроводникового материала, а на...

 Способ изготовления полупроводниковых чувствительных элементов датчиков, заключающийся в формировании тензорезисторов, тонкопленочных проводников и контактных площадок и утоньшении кристаллов путем травления, отличающийся тем, что, с целью повышения точности изготовления, уменьшения трудоемкости и увеличения выхода годных, после формирования схемы пластину со стороны тензосхемы закрывают...

 Изобретение относится к измерительной технике и позволяет повысить стойкость устр-ва к агрессивным средам, а также повысить его надежность при эксплуатации. Полупроводниковый кристалл 1 соединен с кольцом 2 из стекла посредством слоя 6 аморфного материала толщиной 0,5 - 5 мкм, нанесенного на изоляционный слой 5. Окна 8 обеспечивают электрический контакт кристалла 1 со слоем 6. При воздейс...

 Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано при конструировании и изготовлении полупроводниковых чувствительных элементов датчиков и микроприборов. Целью изобретения является повышение точности и прочности чувствительных элементов. Окна для травления профиля в маскирующем слое на пластинах формируют с размерами, отвечающими соотношению где ak размер вх...

 Способ изготовления узлов, преимущественно из полупроводника и стекла путем обработки соединяемых поверхностей, нанесение на одну из них алюминиевой пленки, сборки узла со стороны пленки алюминия, нагрев и подачу электрического напряжения, отличающийся тем, что, с целью расширения функциональных возможностей и повышения производительности за счет группового изготовления узлов, перед нанес...

 Способ изготовления металлополупроводниковых узлов, при котором металлические детали устанавливают на полупроводниковой пластине и приваривают к ней, отличающийся тем, что, с целью повышения точности и упрощения технологии, в металлических деталях предварительно выполняют сквозные отверстия, оси которых располагают на расстоянии большем диаметра отверстий, а сварку осуществляют лазерным л...

 Изобретение относится к измерительной технике, а именно к датчикам давления и способам его изготовления. Целью изобретения является уменьшение габаритов и повышение технологичности. Датчик давления содержит полупроводниковый кристалл 1 с мембраной 8 и диффузионными тензорезисторами 3. На периферии кристалла 1 расположены контактные площадки 5 и 6, соединенные коммутационными участками 4 с...

 Использование: изобретение относится к измерительной технике, в частности к полупроводниковым датчикам, и может быть использовано при измерении давления различных сред. Цель изобретения - повышение точности измерения. Сущность изобретения состоит в том, что преобразователь, содержащий стеклянное кольцо-держатель, профилированный кристалл с мембраной, тензорезисторы, контактные шины, конта...

 Использование: изобретение относится к приборостроению, в частности к устройствам для динамической калибровки датчиков быстропеременных давлений, используемым в метрологии. Цель изобретения - упрощение конструкции генератора и расширение амплитудного диапазона. Сущность изобретения: генератор состоит из накопительной конденсаторной батареи 1, двух управляемых разрядников 2, разрядного рез...

  Использование: в измерительной технике для измерения давлений в условиях воздействия термоудара на датчик давления. Сущность изобретения: в тензорезистивном датчике давления с упругим элементом 2 в виде колпачковой мембраны, снабженной снаружи слоями диэлектрика 5 с тензорезисторами 4, а изнутри - теплоизолирующим покрытием, толщина теплоизолирующего покрытия выбрана из определенного соо...

  Использование: изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при проектировании и изготовлении тензорезисторных датчиков при повышении технологичности термокомпенсации. Сущность изобретения: измеряют начальные выходные сигналы датчика при двух значениях рабочего диапазона температур, включают термочувствительный резистор в одно из плеч мостовой схемы, герметизир...

  Изобретение относится к тензорезисторным датчикам давления и может быть использовано при измерении давления в условиях воздействия на датчик нестационарной температуры измеряемой среды. Сущность изобретения: в датчике давления, содержащем мембрану с изоляционным слоем 2, на котором расположены четыре тензорезистора и два компенсационных резистора 9 и 15, последние расположены в зоне пром...

  Использование: в измерительной технике, в частности в датчиках давления в условиях воздействия на датчик нестационарных температур. Сущность изобретения: для повышения точности измерений датчик давления содержит корпус 1, упругий элемент 2 в виде жесткозащемленной мембраны с диэлектриком 3 и тензорезисторами на одной стороне и теплоизолирующей пленкой 7 на другой стороне. Последняя выпол...

  Использование: при изготовлении датчиков давления, работающих в условиях воздействия агрессивных сред и нестационарных температур измереной среды. Цель - повышение точности измерения и воспроизводимости точностных характеристик датчика давления. Сущность изобретения: в датчике, содержащем колпачковую мембрану 2, последняя снабжена установленной на ней дополнительной мембраной 3, при этом...

  Использование: в измерительной технике для преобразования угловой скорости вращения вала в частоту следования импульсов. Сущность изобретения: введение электронного ключа и компаратора, реализующих положительную обратную связь между выходом электромеханического датчика и генератором, приводит к появлению гистерезиса по порогу срабатывания генератора, что соответствует гистерезису по угло...

  Использование: в измерительной технике для преобразования угловой скорости вращения вала в частоту следования импульсов, определения направления вала. Сущность изобретения: введение трех элементов НЕ, четырехвходового элемента И и шести триггеров обеспечивает исключение ложных импульсов на границах зон срабатывания индуктивных датчиков, что повышает достверность измерения скорости. 3 ил....

 Использование: изобретение относится к контрольно-измерительной техники и может быть использовано при конструировании и производстве пьезоэлектрических датчиков, предназначенных для измерения быстропеременных, импульсных и акустических давлений. Сущность изобретения: с целью повышения точности измерения датчик акустического давления содержит корпус 1 с мембраной 2, на которой закреплен ра...

 Использование: изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения давления в условиях воздействия широкого диапазона температур и повышенных виброускорений. Сущность изобретения: датчик содержит корпус, цилиндрическую контактную площадку, чувствительный элемент в виде жесткозащемленной мембраны, на которой расположена тензочувствительная схема, плоские в...

 Использование: в производстве водорода. Сущность изобретения: углеводородный газ подвергают паровой конверсии. Полученный газ, содержащий водород и оксид углерода, подают на конверсию оксида углерода. Конвертированный газ охлаждают, отделяют от него конденсат, а затем диоксид углерода. После этого газ очищают от примесей методом короткоцикловой адсорбции с получением водорода. Адсорбент п...