Способ юстировки электромагнитной зондоформирующей системы

Способ юстировки электромагнитной зондоформирующей системы

Реферат

Изобретение относится к области микрозондовой техники и является усовершенствованием известного способа юстировки электромагнитной зондофор . мирующей системы по авт.св.№ 1157589. Цель - повышение точности юстировки. При юстировке перемещают юстируемые элементы до положений, при которых изображения (И) в плоскости объектодержателя (О), полученные для прямой и обратной полярности тока возбуждения , смещены. Перед получением И между юстируемыми элементами и О устанавливают вспомогательную электромагнитную линзу (ВЭЛ) и изменение полярности тока осуществляют только ВЭЛ. Для достижения цели ВЭЛ возбуждают до уровня, при котором ее плоскость изображения совмещена с плоскостью диафрагмы, устанавливаемойв области фокусирующего магнитного потока этой ВЭЛ, а плоскость О наклоняют до тех пор, пока не исчезнет асимметрия И полуокружностей границ И отверстия диафрагмы. При этом в поле зрения остается тот же участок микрообъекта, который подвергался исследованию до юстировки, поэтому отпадает необходимость в затратах времени на поиск и совмещение этого участка с полем о блучения. Изобретение может быть использовано в электронной и ионной микроскопии. с S сл 00 о со