РЫБАЛКО ВЛАДИМИР ВИТАЛЬЕВИЧ

  ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советсинк Соцналнстнческнк Республик (1920895 (61) Дополнительмое к авт. свид-ву (5! )М. Кл. (22) Заивлено 17.07.80 (21) 2957932/18-21 с присоедмнениеат заявки М H 01 J 37/28 3Ъоударственный комитет СССР ио делам изобретений и открытий (23) Приоритет Опубликовано 15.04.82. Бюллетень М 14 Дата опублккования описания 5 .0...

  ОПИСАНИЕ 928466 ИЗОБРЕТЕНИЯ CoIo3 Соввтския Соцмапмстмчвскма Рве убпми К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (6l ) Дополнительное к авт. санд-ву— (22) Заявлено 25.09.80 (21) 2984324/18-21 (51)NL. Кл. Н 01 J 37/24 с мрмсоедмненмем заявки М— 5еуиРстяевя4 кемитет COCP ав двяам ямбратввяв и втяРьпвв (23)Приоритет Опубликовано 15.05.82. Бюллетень М 18 Дата опубликования опмсамня 15.0...

  ««Ф « (72) Авторы изобретения В. В Рыбалко, В. М. Белоусов, А. Н. Тихонов и A. С. Савкин I (73 ) Заявитель Московский институт электронного машиностроен,ия (54) ИМПУЛЬСНЫЙ КОРПУСКУЛЯРНЫЙ МИКРОСКОП; Изобретение относится к микрозондовой технике,в частности к устройствам и их элементам для формирования и ана лиза изображений объектов. Известен импульсный корпускулярный микрос...

  СПОСОБ ЩКРОАНАЛИЗА ГЕТЕРОФАЗНЫХ ОБЪЕКТОВ а включакщий облучение исследуемого участка электронным зондом, формирование его изображения , регистрацию и измерение характеристического излуче1шя , отличающийся тем, что, с целью повышения точности анализа, после формирования изображения исследуемого участка изме11яют форму и размеры поперечного сечения электронного зонда по форме и раз...

  1. СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКОЙ ЭЛЕКТРОННО-ОПТИЧЕСКОЙ СИСТЕМЫ, включающий нанесение на несущие диэлектрические пластины резиста, облучение резиста электронным пучком, последующее травление и сборку, отличающийся тем, что, с целью повышения точности изготовления, облучение и травление осуществляют после сборки пластин . 2. Способ по п. 1, о т л и ч а ющ и и с я тем, что...

  СПОСОВ ЮСТИРОВКИ ЭЛЕКТРОМАГНИТНОЙ ЗОВДОФОРМИРУЮЩЕЙ СИСТЕМА, включающий перемещение юстируемых элементов до положений, при которых изображения в плоскости объектодержателя , полученные для прямой и обратной полярностей тока возбуждения системы, совмещены, отличающийся тем, что, с цельюповьшге ния точности юстировки при уменьшении времени ее проведения, перед получе .кием изображен...

  Изобретение относится к области микроскопии и может быть использовано для анализа проводящих микрообъектов. Цель изобретения - повышение точности анализа при упрощении конструкции. При перемещении между зондом 2 и объектом 5 течет ток, пропорциональный расстоянию острие зонда - поверхность участка объекта , чем осуществляется сканирование объекта . Зонд 1, жестко соединенный с зо...

  Изобретение относится к системам формирования электронного зойда в растровых электронных микроскопах. Цель изобретения - уменьшение времени анализа и упрощение конструкции. .При флуктуациях высокого напряжения его переменная составляющая подается на провод5пцнй магнитопровод 3 фокусирующей линзы и объектодержатель 4. При этом обеспечивается постоянство энергии электронов зондов о...

  Изобретение относится к области микрозондовой техники. Может быть использовано при анализе микропотенциалов на поверхности объектов. Цель изобретения - повышение точности измерения микропотенциалов достигается путем обеспечения коррекции погрешностей при отклонении зонда и при изменении расстояния от исследуемой поверхности до вытягивающего электрода . Микроскоп содержит электрон...

  Изобретение относится к области микрозондовой техники и является усовершенствованием известного способа юстировки электромагнитной зондофор . мирующей системы по авт.св.№ 1157589. Цель - повышение точности юстировки. При юстировке перемещают юстируемые элементы до положений, при которых изображения (И) в плоскости объектодержателя (О), полученные для прямой и обратной полярности тока воз...

  Изобретение относится к области исследования материалов с помощью радиационных методов и может быть использовано для получения изображения доменносодержащих материалов. Цель - повьшение достоверности получаемого изображения. В качестве поля смещения используют поле формирующей линзы, а фокусировку потока заряженных частиц осуществляют путем изменения амплитуды возбуждения поля ко...

  СОЮЗ СОВЕТСНИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК ц1) @ Н 01 J 37/24 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ f10 ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЦТИЯМ ПРИ ГННТ СССР (21) 4034841/24-21 (22) 12.0?.86 (46) 15 ° 03.89. Бюл.,« 10 (71) Московский институт электронного машиностроения (72) В.В.Рыбалко, и А.Н.Тихонов (53) 621.385.833 (088,8) (56) Авторское свидетельство СССР 11 928466, .кл. H 01 J 37/24, 1980. Патен...

  Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в сканирующих микрозондовых контрольно-измерительных приборах, например растровых микроскопах. Цель изобретения - упрощение измерений и повышение их производительности. Она достигается использованием для измерений зависимости параметра излучения после взаимодействия с элементом от угла наклона потока зондирующ...

  Изобретение относится к электронной микроскопии и может быть использовано для формирования тестового изображения в растровом электронном микроскопе. Цель изобретения - повышение контраста формируемого изображения - достигается за счет усиления поглощения вторичных электронов в промежутках между впадинами зубчатой поверхности устройства. Рабочая поверхность устройства образована по...

  Изобретение относится к области микрозондовой техники и может быть использовано в электронной микроскопии. Цель изобретения - повышение чувствительности контроля. Устройство содержит зондоформирующую систему, состоящую из источника 1 зондирующих частиц, конденсорного блока 2, электростатической отклоняющей системы 3, объектодержателя 4 и формирующей линзы 5, анализатора 6 вторично...

  Изобретение относится к области электроннолучевой техники и может быть использовано в растровой электронной микроскопии. Целью изобретения является повышение эффективности и равномерности сбора регистрируемого потока электронов по площади. Устройство состоит из цилиндрического корпуса 1, верхнего 2 и нижнего 3 дисковых электродов, объектодержателя 4 и преобразователя 5. При выполн...

  Изобретение относится к электронно-и ионно-лучевой технике и может быть использовано при изготовлении электронно-оптических систем, например, электронных микроскопов. Цель изобретения - повышение качества изготовления магнитопроводов за счет увеличения их осевой однородности - достигается тем, что в известном способе отжиг осуществляют в осесимметричном магнитном поле, значение ин...

  Изобретение относится к сварке, в частности к технологии лучевой сварки изделий из сплавов с перитектикой, и может быть использовано в различных отраслях народного хозяйства. Цель изобретения - повышение качества сварных изделий из сплавов с перитектикой путем формирования анизотропной структуры сварного шва. После образования сварочной ванны осуществляют ее охлаждение до темпера...

  Изобретение относится к технологии .электронноили ионно-лучевого контроля и восстановления микроэлектронных структур и может быть использовано при произИзобретение относится к технологии электронноили ионно-лучевого контроля и восстановления микрозлектронных структур и может быть использовано при производстве изделий электронной техники. Целью изобретения является расширение номе...

  Сущность изобретения; записывают элементы топологии эталонного изображения кристалла. Используют их в качестве реперных знаков. Для точности позиционирования пластины сканируют контролируемый кристалл лучом. Величину погрешности определяют сравнением эталонного и контролируемого кристаллов. 6 з.п, ф-лы. СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК (!9) (11) (51)5 Н 01 (21/66 ,...

  Использование: в микрозондовой технике , например электроннои ионно-лучевой технологии производства изделий микроэлектроники. Сущность изобретения: после предварительной настройки зондоформирующей системы получают изображение на экране видеоконтрольного устройства, затем отключают растровую систему и переводят электронно-лучевую установку в высокомощный режим, после чего переводя...

  Сущность изобретения: формируют поляризованный прямоугольный в сечении поток оптического излучения, которым сканируют контролируемую поверхность по концентрическим окружностям, регистрируют как рассеянное, так и зеркально-отраженное излучение. Последнее пропускают через поляризационный анализатор и используют для идентификации типа дефекта, а первое преобразуют, дифференцируют и...

  Использование: Изобретение относится к электронно-лучевому контролю изделий микроэлектроники, Целью изобретения яв-. 2 ляется повышение производительности процесса контроля чипов на пластине за счет исключения операции кривизны координат растра к координатам топологии исследуемого чипа. Сущность изобретения: во время контроля чипа пластину жестко фиксируют относительно электронно...

  Изобретение относится к рентгеноспектральным методам диагностики тонкопленочных покрытий и может быть использованодля технологического контроля зпитаксиальных структур в производстве изделий микроэлектроники. С целью повышения точности определения толщины слоев сложного состава из материалов с малым средним атомным номером образец облучают потоком электронов и регистрируют в спек...

  Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для высоколокального контроля тонкопленочных структур, имеющих сложную морфологию . Цель изобретения - повышение достоверности определения толщин при анализе слоев, имеющих переменную толщину . Структуру облучают сфокусированным электронным пучком и регистрируют рентгеновское излучение, генерируемое подложкой...