Устройство для контроля поверхностных микропотенциалов

Устройство для контроля поверхностных микропотенциалов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к области микрозондовой техники и может быть использовано в электронной микроскопии. Цель изобретения - повышение чувствительности контроля. Устройство содержит зондоформирующую систему, состоящую из источника 1 зондирующих частиц, конденсорного блока 2, электростатической отклоняющей системы 3, объектодержателя 4 и формирующей линзы 5, анализатора 6 вторичного потока электронов типа "цилиндрическое зеркало", системы 7 регистрации, экранирующей диафрагмы 8. Анализатор 6 и система 7 регистрации расположены соосно с зондоформирующей системой, при этом анализатор 6 и система 7 регистрации расположены между конденсорным блоком 2 и формирующей линзой 5. 2 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК (51) Н 01 J 37/26

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

f10 ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 3873745/24-63 (22) 26.03.85 (46) 30,07.90, Бюл. В 28 (71) московский институт электронного машиностроения (72) В.:В.Рыбалко (53) 621.385.833(088,8} (56) Авторское свидетельство СССР

У 503316, кл. Н 01 J 37/26,10.04.74, ÄÄSUÄÄ 1582226 А 1

2 (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ПОВЕРХНОСТНЫХ ИИКРОПОТЕНЦИАЛОВ (57) Изобретение относится к микрозондовой технике и может быть использовано в электронной микроскопии.

Цель изобретения — повышение чувствит тельности контроля, Устройство содержит зондоформирующую систему, состоя1582226 экранирующей диафрагмы 8. Анализатор

6 и система 7 регчстрации расположены соосно с зондоформирующей. систе,—

5 мой, при этом анализатор 6 и система

7 регистрации расположены между конденсорным блоком 2 и формирующей линзой 5, 2 ил.

Изобретение относится к микрозондовой технике и может быть использо вано в микроскопии (например, элекTPoHHOH) 4

Цель изобретения — повышение чувствительности контроля.

На фиг.1 изображен вариант устройства с расположением формирующей лин. зы перед плоскостью объектодержателя; 2п на фиг.2 — вариант устройства с расположением формирующей линзы за плоскостью объектодержателя, Устройство содержит зондоформирующую систему, состоящую из источника

1 зондирующих частиц, конденсорного блока 2, электростатической отклоняющей системы 3, объектодержателя 4, формирующей линзы S и анализатора

6 вторичного потока электронов типа

"цилиндрическое зеркало", выполненного из немагнитного материала с злектропроводящим поверхностным слоем, системы 7 регистрации сигнала и экранирующей,циафрагмы 8

Устройство работает следующим образом.

Источник 1 генерирует поток зондирующих частиц (например, электронов), который предварительно фокусируется конденсорным блоком 2 и сканируется отклоняющей системой 3 по поверхности объектодержателя 4. При этом с по-. мощью фокусирующей линзы 5 поток фокусируется в зонд в плоскости . 45 объектодержателя 4, Поток вторично эмиссионного сигнала, генерируемый в образце, установленном на объектодержателе А, поступает на вход анализатора 6. Анализатор настраивается на любой участок энергетического спектра вторичных частиц. Далее облуU =

К где U о щую из источника 1 зондирующих частиц, конденсорного блока 2, электростатической отклоняющей системы 3, объектодержателя 4 и формирующей линзы 5, анализатора 6 вторичного потока электронов типа "цилиндрическое

II зеркало, системы 7 регистрации, чают контролируемый участок, регистрируют сигнал на выходе системы 7 регистрации и регулируют потенциал анализатора 6 до того момента, когда сигнал достигнет первоначального значения. Тогда определяют величину потенциала контролируемого участка по формуле

ПО известный потенциал первоначального облученного участка; величина изменения фокусирующего потенциала анализатора при его регулировке во время зондирования контролируемого участка.

Формула изобретения

Устройство для контроля поверхностных микропотенциалов, содержащее последовательно расположенные зондоформирующую систему, включающую источник зондирующих частиц, конденсорный блок, формирующую линзу и объектодержатель, анализатор вторичного потока электронов, систему регистрации, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с. целью. повыше .ия чувствительности контроля, анализатор вторичного потока электронов и система регистрации расположены соосно с зонцоформирукицей системой, при этом анализатор и система регистрации расположены между конденсорным блоком и формирующей линзой, анализатор вторичного потока электронов выполнен в виде цилиндрического зеркала, а регистратор — в виде коллектора электронов.

1582226

Составитель Е,Сотниченко

Техред Л.Сердюкова Корректор С.Черни

Редактор А.Ревин

Заказ 2091 Тираж 403 Подписное

BHHHIIH Государственного комитета по изобретениям и открьггиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул. Гагарина, 101