Способ изготовления датчиков давления

Способ изготовления датчиков давления

Реферат

Способ изготовления датчиков давления, включающий формирование профилированной области кремниевого чувствительного элемента с тензорезисторами, имеющими контакт с внешними выводами через зоны кремния с повышенной проводимостью, настройку и присоединение электростатическим методом к чувствительному элементу стеклянной крышки, отличающийся тем, что, с целью уменьшения габаритов датчика и упрощения процесса его настройки, в чувствительном элементе одновременно с формированием профилированной области под тензорезисторами создают дополнительную профилированную область, соединяют сформированные области вытравленной канавкой, одновременно с присоединением крышки присоединяют к чувствительному элементу стеклянное основание, перекрывающее обе профилированные области и соединяющую их канавку, настраивают датчик, а затем проводят разгерметизацию полости датчика со стороны профилированных областей путем разрушения перемычки дополнительно сформированной профилированной области.