Пленкообразующий раствор для получения легированных бором диффузионных слоев

Пленкообразующий раствор для получения легированных бором диффузионных слоев

Реферат

 

1. Пленкообразующий раствор для получения легированных бором диффузионных слоев, содержащий растворитель, катализатор, соединение элементов IV группы и неорганическое соединение бора, отличающийся тем, что, с целью повышения уровня и однородности легирования толстых диффузионных слоев, раствор дополнительно содержит органическое соединение бора при массовом соотношении органического и неорганического соединения бора от 7,5 : 1 до 30 : 1 и следующем количественном соотношении компонентов, мас.%: Растворитель - 13 - 30 Катализатор - 0,3 - 1,0 Соединения бора - 28 - 55 Соединение элементов IV группы - 19,7 - 41 2. Раствор по п.1, отличающийся тем, что в качестве растворителя использована смесь этилового спирта с водой при объемном соотношении от 1,5 : 1 до 24 : 1 в пересчете на абсолютный спирт.

3. Раствор по пп.1 и 2, отличающийся тем, что в качестве органического соединения бора использован этиловый эфир ортоборной кислоты - триэтоксибор, а неорганического - борная кислота.

4. Раствор по пп.1 - 3, отличающийся тем, что в качестве соединения элементов IV группы использован этиловый эфир ортокремниевой кислоты - тетраэтоксисилан или его смесь с этиловым эфиром германиевой кислоты - тетраэтоксигерманий при объемном соотношении от 10 : 1 до 2 : 1.