Устройство для измерения поля отклонений от плоскостности поверхности твердого тела

Устройство для измерения поля отклонений от плоскостности поверхности твердого тела

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения поля отклонений от плоскостности поверхности твердого тела и микрогеометрии поверхности. Целью изобретения является возможность измерения поля отклонения от плоскостности в процессе ионно-лучевой обработки за счет совместного использования призменного интерферометра и вакуумной камеры. Луч лазера 1, расширенный коллиматором 2, попадает на светоделители 3 и 6, установленные в стенки вакуумной камеры 8 симметрично оси источника 9 ионов. Второй поток излучения от светоделителя 3 направляется на образец, установленный на держателе 4 образцов, расположенный в месте пересечения падающего и отраженного потоков излучения . Оценка изменений профиля поверхности производится по искривлению полос, сформированных предварительно при повороте призмы 10, размещенной с наружной стороныкамеры таким с образом,что еевершина расположена на одной осис источником ионов, 1 ил. (Л

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

„„SU„„1364865 А 1 (51)4 С 01 В 11 24

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 4105869/24-28 (22) 30.07.86 (46) 07 ° 01.88. Бюл. Ф 1 (71) Каунасский политехнический институт им. Антанаса Снечкуса (72) Л.П. Аугулис, Л.И. Пранявичюс, А.В. Рагаускас и В.В. Ясюленис (53) 531.717.2(088.8) (56) Приборы для контроля поверхностных дефектов. В кн.: Приборы для нераэрушающего контроля материалов и изделий. Справочник под ред. В.В. Клюева, М.: Машиностроение, 1976, т. 1, с. 68-77.

Измерение отклонения от плоскости и контроль рельефа поверхности полупроводниковых пластин и структур, M.: Радио и связь, 1985, с. 128-145. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПОЛЯ

ОТКЛОНЕНИЙ ОТ ПЛОСКОСТНОСТИ ПОВЕРХНОСТИ ТВЕРДОГО ТЕЛА (57) Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения поля отклонений от плоскостности поверхности твердого тела и микрогеометрии поверхности.

Целью изобретения является воэможность измерения поля отклонения от плоскостности в процессе ионно-лучевой обработки за счет совместного использования призменного интерферометра и вакуумной камеры. Луч лазера

1, расширенный коллиматором 2, попадает на светоделители 3 и 6, установленные в стенки вакуумной камеры 8 симметрично оси источника 9 ионов.

Второй поток излучения от светоделителя 3 направляется на образец, установленный на держателе 4 образцов, расположенный в месте пересечения падающего и отраженного потоков излучения. Оценка изменений профиля поверхности производится по искривлению полос, сформированных предвари--тельно при повороте призмы 10, размещенной снаружной стороныкамеры таким образом,что еевершина расположена на одной осис источником ионов. 1 ил, 1364865

При помощи поворота призмы 10 относительно вершины можно получить либо полосы равной толщины, либо полосы равного наклона и в процессе измерения судить по их искривлению об изменениях в геометрии исследуемой поверхности. формула изобретен и я стью ее поворота относительно вершины, а держатель образца расположен в месте пересечения падающего и отраженного потоков излучения.

Составитель К. Кузнецов

Корректор С. Шекмар

Техред И,Дидык

Редактор П. Гереши

Заказ 6576/31 Тираж 680 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д, 4/5

Производственно- полиграфическое предприятие, г, Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения поля отклонений от плоскостности поверхности твердого

5 тела и микрогеометрии поверхности.

Цель изобретения — возможность измерения поля отклонений от плоскостности в процессе ионно-лучевой обработки эа счет совместного использования приэменного интерферометра и вакуумной камеры.

На чертеже изображена оптическая схема устройства. 15

Устройство содержит за выходным окном лазера 1 последовательно расположенные коллиматор 2, светоделитель

3 и держатель 4 образцов. Далее по ходу отраженного от образца иэлуче- 20 ния перед оптической системой 5 расположен второй светоделитель 6, а эа ней — телекамера 7. Устройство содержит вакуумную камеру 8 с расположенным в ней источником 9 ионов, 26 на корпусе которой закреплена своей вершиной прямоугольная равнобедренная призма 10 оптически связанная с первым и вторым светоделителями через соответствующие боковые грани. ЗО

Устройство работает следующим образом.

Луч лазера 1, расширенный коллиматором 2, попадает на светоделители 3 и под углом к оси источника ио35 нов направляется на обрабатываемый ионным пучком образец, закрепленный на держателе 4, Отраженный от образца поток излучения направляется на светоделитель 6, сводящий отраженный от 40 объекта поток с опорным, направленным светоделителем 3 через призму 10.

В результате сложения двух потоков на светоделителе 6 образовавшаяся интерференционная картина с помощью оп- 4 тической системы 5 проецируется на телекамеру 7.

Устройство для измерения поля отклонений от плоскостности поверхности твердого тела, содержащее лазер, последовательно расположенные по ходу потока его излучения коллиматор, светоделитель, держатель образцов и последовательно расположенные по ходу потока излучения, отражаемого от объекта, оптическую систему и телекамеру, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью обеспечения измерения в процессе ионно-лучевой обработки, оно снабжено вторым светоделителем, расположенным перед оптической системой по ходу отражаемого от объекта потока излучения, прямоугольной равнобедренной призмой, оптически связанной с первым и вторым светоделителями через соответствующие боковые грани, вакуумной камерой с расположенным в ней источником ионов и держателем образцов, расположенным в камере в плоскости, перпендикулярной оси источника ионов, в камере выполнены два отверстия, симметрично расположенные относительно места закрепления источника, в каждое из отверстий установлен соответствующий светоделитель, призма размещена с наружной стороны камеры таким образом, что ее вершина расположена на одной оси с источником ионов и с возможно