Многопозиционный карусельный полуавтомат для нанесения покрытий испарением в вакууме

Патент 139176

Авторы

• Богушевич В.Д.
• Губанов В.П.
• Ежов Б.К.
• Морозов Г.В.
• Поволоцкий Б.Д.

---

Классы МПК

• C23C14/54 - управление или регулирование способа нанесения покрытия (управление или регулирование вообще G05)