Устройство для получения монокристаллов кремния
Патент 139440
Авторы
- Бамунер А.В.
- Васильев А.С.
- Данилков Н.К.
- Дудин А.Г.
- Кочергин Л.Л.
- Малинин А.Ю.
- Моргун В.В.
- Пекерис Г.Л.
- Петров Ю.Б.
- Слухоцкий А.Е.
Классы МПК
