Способ нанесения металлических покрытий

Способ нанесения металлических покрытий

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится (с технологии нанесения металлических покрытий. Целью изобретения является упрощение и сокращение времени нанесения металлических покрытий. Согласно изобретению осаждение металла проводят при атмосферном давлении путем дозированной подачи азидов наносимого металла в дисперсной в зону действия источника, осуществляющего их фазовое превращение в режиме взрывного разложения. 3 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

ГОСУДАРСТОЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР .1 1О ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И OTHPHTHA (46) 23.01.92. Бил. Р 3 (21) 3790б37/21 (22) 13.09.84 (71) Институт радиотехники и элек.троники АН СССР (72) Ю.lO.Ñèäoðèí, 1 .И.Диаманть

А.Г.Ждан и И.Н.Свешникова (53) 621.793. 14(088.8) (56) Л.Холленд. Нанесение тонких пленок в вакууме. М.-Л.: Государственное энергетическое издательство, 1968ь с.241., SU„„1394736 А1 (51) 5 С 23 С 14/00 (54) СПОСОБ КАКЕСЕНИЯ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ

ПОКРЫТИЙ (57) Изобретение относится к технологии нанесения металлических покрытий.

Целью изобретения является упрощение и сокращение времени нанесения металлических покрытий. Согласно изобретению осаждение металла проводят при атмосферном давлении путем дозированной подачи азицов наносимого металла в дисперсной форме в зону действия источника, осуществляющего их фазовое превращение в режиме взрывного разложения. 3 ил.! 394736

Изобретение относится к области микроэлектроники и может быть использовано для металлиэации поверхностей . твердых тел.

Целью изобретения является упрощение и сокращение времени проведения процесса нанесения металлических по- крытий. !

О

На фиг.1-3 приведены примеры конкретного выполнения способа с тепловым, световым и механическим механизмами инициирования реакции разложейия рабочего вещества соответственно.!

Система осаждения расположена внутри защитного колпака 1, изготовленного, например, иэ оргстекла. На штативе 2 закреплена металлизируемая подложка 3. В непосредственной близости от нее расположен источник 4 дозированной подачи азида металла в качестве рабочего вещества. Нагреватель 5 расположен напротив подложки 3, 25

На фиг.1 нагреватель S выполнен резистивным, например, из нихрома.

На фиг.2 нагреватель представляет собой источник света, поток которого сфокусирован в зоне разложения, рабочего вещества. На фиг.3 показан нагреватель 5, выполненный в ниде пластинки пьезоэлектрика, подключен. к источнику 6 ультразвука. Пластин-. ка пьезоэлектрика осущестнляет механическое инициирование реакции разложения рабочего-вещества, легко разлагающегося под действием давления, трения, удара, например, аэидов алюминия или золота.

Изобретение осуществляется следующим образом..

Рабочее вещество н дисперсной форме поступает при атмосферном давлении в тепловую зону, созданную нагревателем. Температура зоны равна температуре инициирования взрыва рабочего вещества, Происходит его . взрывное разложение и осуществляется быстрый массоперенос во взрывной волне металла, содержащегося в раэла-эо гаемом яеществе.

Металлическая компонента соединения азица металла (при условии . к» <, где К - расстояние от на" гревателя до подложки; о — линейный размер подложки} осалдается на подложке s виде тонкого однородного слоя металла вследствие сферичесМойсимметрии взрывного фронта, а газообразный азот выделяется в технологический объем.

Реакция разложения аэидов проте" кает по следующей схеме:

Ме N Ме4 + 3 N

N> — газообразный азот; †. выделенная теплота разложения.

Для инициирования реакции разложения азида используют электрическую искру, пробой лазером, контакт веще- ства с нагретым телом. При использовании аэидов металлов инициирование осуществляется почти мгновенно при 200-450 С. Действие инициаторон способствует протеканию реакции по цепному механизму. Скорость массопе- реноса при реакции !О см/с, что по4 зволяет,осуществлять металлизацию в атмосферных условиях, так как исключает окисление материала в про- . цессе его нанесения.

Формула изобретения

Способ нанесения металлических иб покрытий, заключающийся в осаждении металла путем дозированной подачи рабочего вещества в зону действия источника, осуществляющего фаэовое превращение его, о т л и ч а ю— шийся тем, что, с целью упрощения и сокращения времени проведения способа, в качестве рабочего вещества используют азиды наносимого металла в дисперсной форме, а осаждение проводят при атмосферном давлении в режиме взрывного разложения рабочего вещества.!

394736

1394736

Состав ит ель И. Куз нецова

Редактор f.toð÷èêîâà Техред N.Õîäàíè÷ Корректор А. Тяско

Заказ 794 (Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного. комитета СССР по делам изобретений и открытий

313035, Иосква, Ж-ÇS, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, r. Уагород, ул. Проектная, 4