Способ ориентирования монокристаллов

Способ ориентирования монокристаллов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к исследованию монокристаллов и может быть использовано для кристаллографического ориентирования монокристаллов. Целью изобретения является ориентирование монокристаллов фосфида Мир,

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (5g 4 С 30 В 3300

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

H Д BTOPCKOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3548902/23-26 (22) 21.01.83 (46) 23.07.88. Бюл. № 27 (71) Воронежский государственный университет им. Ленинского комсомола (72) Л. А. Битюцкая, Е. Н. Бормонтов, В. А. Минасянц и В. Ф. Сыноров (53) 548.735 (088.8) (56) Травление полупроводников. — М.:

Мир, 1965, с. 175 — 177. (54) СПОСОБ ОРИЕНТИРОВАНИЯ М0НОКРИСТАЛЛОВ (57) Изобретение относится к исследованию монокристаллов и может быть использовано для кристаллографического ориентирования монокристаллов. Целью изобретения является ориентирование монокристаллов фосфида

„„SU„„1411357 А 1 цинка моноклинной сингонии. Для этого исходный монокристалл фосфида цинка раскалывают по плоскости спайности, изготавливают шлиф в виде полированной площадки перпендикулярно направлению ступеней. образовавшихся на поверхности скола, после чего ведут обработку шлифа травителем, состоящим из смеси 3 — 90 об.% азотной кислоты и 97 — 10 об.о о фтористоводородной кислоты. При этом ось (001) определяют по направлению ступеней на поверхности скола, а ось (010) — по большим осям ямок эллиптической формы и линиям выхода плоскостей скольжения на картине травления.

При осуществлении способа достигается ускорение процесса и упрощение используемого оборудования. 2 ил.

Формула изобретения

Фиг /

Составитель В. Забелин

Редактор Н. Яцола Техред И. Верес Корректор М. лароши

3 а к аз 3623/25 Тираж 365 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, УК вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

141 (Изобретение относится к области исследования монокристаллов и может быть использовано для кристаллографического ориентирования монокристаллов.

Цель изобретения — ориентирование мо нокристаллов фосфида цинка (ZnP ) моно линной сингонии., Монокристаллы фосфида цинка, полуенные методом направленной кристаллиза ии из расплава, диаметром 1 см и длиной см раскалывают на несколько частей по лоскостям спайности. Каждый из полученых образцов имеет от одной до трех непааллельных плоскостей скола, на каждой из оторых имеются риски. На отколотых часях монокристаллов сошлифовывают и отолировывают две площадки, перпендикуярные рискам на сколе. Окончательную поировку шлифов осуществляют пастой AN ,5/О. Размеры шлифов Зх5 мм. Затем осуествляют травление шлифов травителем, одержащим 10 мл 69,8%-ной азотной кисоты и 50 мл 45%-ной фтористоводородной ислоты (картина травления изображена на иг. 1) и травителем, содержащим 40 мл

9,8%-ной азотной кислоты и 10 мл 45%-ной тористоводородной кислоты (картина травения изображена на фиг. 2) . Травление

I оверхностей шлифов осуществляют в течеие 1 мин при комнатной температуре. Ориенацию монокристаллов определяют по рисам на сколе, задающим направление (001) 1357 и по линиям выхода плоскостей скольжения на поверхности шлифа или по большим осям эллипсоидальных ямок травления, задающим направление (010).

При осуществлении пре -аемого способа достигается ускорени ч1.,есса ориентации монокристалла (2 мьн), а также упрощение используемого оборудования (требуется в основном микроскоп и кислоты).

Способ ориентирования монокристаллов, включающий изготовление на них плоского шлифа, обработку шлифа селективным травителем и определение направления кристаллографических осей по фигурам на картине травления, отличающийся тем, что, с целью ориентирования монокристаллов фосфида цинка моноклинной сингонии, для изготов20 ления шлифа монокристалл раскалывают по плоскости спайности, шлиф изготавливают в виде полированной площадки перпендикулярно направлению ступеней, образовавшихся на поверхности скола, и обработку шлифа ведут смесью 3 — 90%-ной азотной кислоты и

97 — 10%-ной фт ори стоводор одной кислоты, причем ось (001) определяют по направлению ступеней на поверхности скола, а ось (010) — по большим осям ямок эллиптической формы и линиям выхода плоскостей

30 скольжения на картине травления.