Способ создания мелких n-p-переходов и контактов к ним

Способ создания мелких n-p-переходов и контактов к ним

Реферат

Способ создания мелких n-p-переходов и контактов к ним, включающий операции ионного легирования, термообработки и нанесения покрытия из силицидообразующего металла, отличающийся тем, что, с целью повышения выхода годных за счет устранения опасности проплавления n-слоя при уменьшении его толщины, в качестве силицидообразующего используют металл, обладающий величиной электроотрицательности, Х_м, удовлетворяющей условию: Х_м > Х_пр > X_gi, где Х_пр - электроотрицательный легирующей примеси, X_gi - электроотрицательность кремния, а термообработку проводят после нанесения покрытия из силицидообразующего металла при 550-1100 К в течение 15-45 мин.