Способ формирования слоев пористого кремния

Способ формирования слоев пористого кремния

Реферат

Способ формирования слоев пористого кремния, включающий электролитическое анодирование кремния n-типа проводимости с уровнем легирования N_D 10¹⁴ см^-3 при стационарном освещении в концентрированной плавиковой кислоте, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества слоев за счет повышения степени и однородности пористости, электролитическое анодирование проводят в интервале плотности токов от 30 до 150 мА/см² в течение времени от 20 до 60 мин при освещенности рабочей поверхности кремния, которую устанавливают согласно соотношению G = i/1,5 + 30, где G - освещенность, люкс; i - плотность тока электролитического анодирования, мА/см².