Способ получения сверхтонких пленок ниобия
Патент 1485972
Авторы
Классы МПК
Способ получения сверхтонких пленок ниобия
Реферат
Способ получения сверхтонких пленок ниобия, включающий напыление и анодное окисление, отличающийся тем, что, с целью повышения временной стабильности пленок, анодное окисление первоначально проводят при плотности тока, не превышающей 0,3 мА/см2, до достижения заданной толщины пленки, а затем в режиме постоянного напряжения в течение 30 - 40 мин.