Способ обработки кремния
Патент 1498074
Авторы
- Коршунов А.Б.
- Никитин А.Н.
- Петровнин Н.М.
- Поташный И.А.
- Прохоров В.И.
- Старикова Л.Е.
- Тимашева Т.П.
- Щербина С.М.
Классы МПК
Способ обработки кремния
Реферат
Способ обработки кремния путем облучения его поверхности пучком ионов бора при средней плотности ионного тока 2 j < 3 мкА/см2, отличающийся тем, что, с целью формирования сплошного слоя тетраборида кремния, облучение ведут дозой 6,25 1016 - 1,00 1017 см-2.