Способ изготовления рельефа на поверхности кремния

Способ изготовления рельефа на поверхности кремния

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

№ 149835.

Класс 21g, 11ю

СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Г1одпасна» группа Л 9I

В. А. Журавлев и О, А. Киреев

СПОСОЬ ИЗГОТОВЛЕНИЯ РЕЛЬЕФА НА ПОВЕРХНОСТИ .КРЕМНИЯ

Заявлено 15 августа 1961 г. аа ¹ 7-12315/26-9

l5 1(огиитет ио лелаги иаооретений и ()TKpL|Tll3I llpII Совете Министров СССР

Оиубликовано в <;Бюллетс llc иаобрстений» № 17 ла 1962 г.

Известные способы получения рсльефа на поверхности кремниевой заготовки нри изготовлении полупроводниковых приборов, основанные на применении фотолитографии с защитой поверхности кремния искусственно образованной окисной пленкой, не дают возможности получить достаточно четкое воспроизведение рельефа при вытравлив",íèè щелочью нанесенного на поверхность кремния рисунка.

По описываемому способу повышение четкости воспроизведения рельефа достигнуто созданием окисной пле11ки одновременно с вжиганисм в кремний ранее нанесенного никелем рисунка с последующим вытравливанисм эвтектики кремний — никель до получения углублений требуемой конфигурации.

В соответствии с описываемым способом Hà поверхность кремниевой заготовки диффузи<и примесей создают слой, проводимость которого противоположна проводимости материала заготовки. На поверхность полученного слоя химическим путем осаждают никель, который покрывают слоем желатина и фотоспособом вытравливают с пробельных мест никель до кремниевой подложки, получая рисунок заданной конфигурации. г1ля травления используют раствор, состоящий нз 1 части НМОа, 1 части HqSO4 и 8 частей СН;СООН, не РазРУ1пающий желатинового покрытия. После удаления оставшегося на поверхности желао типового слоя заготовку обрабатывают при температуре около 1000 .

В процессе термообработки происходит вплавление рисунка в кремнии и образование на незашишенной поверхности кремния окисной пленки. Затем заготовку обрабатывают в шелочном травителе, напри-. мер в кипящем 30%-ном растворе К01-1. В процессе обработки стравливается эвтектика крем 1ий — никель до получения рельефа требуемой конфигурации без разрушения поверхности кремния, защищенного окисной пленкой. № 149835

Предмет изобретения

Способ изготовления рельефа на поверхности кремния фотолитографическим путе4 с защитой поверхности кремния от травления окисной, пленкой при производстве полупроводниковых приборов, о т л ич а ю щ и Д с я тем, что, с целью получения более четкого воспроизведения рельефа структуры на кремнии при вытравливании рисунка в щелочи, указанную окисную пленку создают на незащищенной поверхности кремния при термообработке его на воздухе при температуре порядка

1000 одновременно с вжиганием ранее нанесенного рисунка никеля В кремний, а затем вытравливают в щелочном травителе образовавшуюся эвтектику кремний — никель до получения углублений требуемой конфигурации без разрушения поверхности кремния, защищенной окисной пленкой.

Составитель описания Г. Г. Фридолин

Редактор Н. С. Кутафина Техред А. А, Кудрявиикая Корректор Н. В. Щербакова

Поди к печ 10 3 11-62 г. Формат омм. ОХ 108 /16 Объем 0,18 изд. л.

Зак. 7450 Тираж 1100 Цена 4 коп.

ЦБТИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, М. Черкасский пер. д, 2/6.

Типография ЦБТИ. Москва, Петровка, 14.