Устройство для зонной плавки с градиентом температуры

Устройство для зонной плавки с градиентом температуры

Реферат

Устройство для зонной плавки с градиентом температуры, включающее корпус, систему параллельных ИК-ламп накаливания и кассету с полупроводниковыми подложками, установленную с возможностью возвратно-поступательного движения относительно ИК-ламп и соединенную с приводом, отличающееся тем, что, с целью повышения качества устройства за счет повышения однородности температуры в плоскости подложек, оно дополнительно содержит второй привод и пластину, установленную с возможностью возвратно-поступательного движения относительно корпуса и связанную с вторым приводом, причем первый привод закреплен на пластине, а второй - на корпусе, а амплитуды движения кассеты и пластины различаются на полуцелое число расстояний между ИК-лампами.