Установка для нанесения защитных покрытий

Установка для нанесения защитных покрытий

Реферат

 

1. Установка для нанесения защитных покрытий преимущественно на лопатках газотурбинных двигателей, содержащая корпус вакуумной камеры и расположенные в ней держатель, охлаждаемый катод, выполненный из испаряемого материала, анод, защитный экран охлаждаемого катода и возбудитель катодного пятна, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности, улучшения качества и повторяемости наносимых защитных покрытий, охлаждаемый катод выполнен в виде цилиндрических обечаек, последовательно укрепленных по высоте на цилиндрическом стакане, который соединен с полым электроизоляционным штоком, соединенным вне вакуумной камеры с приводом, охлаждаемый катод снабжен расположенным соосно в полости цилиндрического стакана цилиндрическим магнитным фиксатором катодного пятна, кинематически связанным с приводом при помощи полой штанги, размещенной в полом электроизолированном штоке охлаждаемого катода, а анод изготовлен в виде полой охлаждаемой цилиндрической обечайки, соосно охватывающей охлаждаемый катод и держатель, и снабжен магнитной катушкой, расположенной в полости охлаждаемой цилиндрической обечайки, держатель электроизолирован от вакуумной камеры, соединен с приводом, обеспечивающим ему планетарное перемещение вокруг оси охлаждаемого катода, и снабжен системой защитных экранов, причем полость между анодом и охлаждаемым катодом в осевом направлении ограничена кольцевыми электродами.

2. Установка по п.1, отличающаяся тем, что цилиндрические обечайки охлаждаемого катода выполнены из материала, соответствующему наносимому покрытию.

3. Установка по п.1, отличающаяся тем, что приводы охлаждаемого катода и цилиндрического магнитного фиксатора выполнены с возможностью обеспечения противоположных направлений их движения.

4. Установка по п.1, отличающаяся тем, что полый электроизолированный шток охлаждаемого катода вне вакуумной камеры снабжен клеммой для подачи потенциала на охлаждаемый катод и штуцером для подачи охлаждающей среды через полую штангу цилиндрического магнитного фиксатора, причем полая штанга установлена в полый электроизолированный шток охлаждаемого катода с возможностью их относительного перемещения.

5. Установка по п.1, отличающаяся тем, что корпус вакуумной камеры снабжен радиально расположенным патрубком, соединенным с откачным постом.