Способ определения переходного сопротивления контакта к тонкопленочным резисторам с электродами

Способ определения переходного сопротивления контакта к тонкопленочным резисторам с электродами

Реферат

 

Изобретение касается электроизмерений, в частности измерений контактного (переходного) сопротивления. Целью изобретения является упрощение процесса измерения. Сущность способа состоит в том, что контактные площадки 3, 4 и 4, 5 объекта измерения, представляющего собой резистивную полоску с участками 1 и 2, на которую нанесены контактные площадки 3 5, посредством зондов 6 8 соединены с источником 9 тока и измерителем 10 напряжения соответственно. Цель изобретения достигается за счет соединения источника 9 тока с контактными площадками 3 и 4, а измерителя 10 напряжения с контактными площадками 4 и 5. 1 ил.

Изобретение касается электроизмерений, в частности измерений контактного (переходного) сопротивления. Целью изобретения является упрощение процесса измерения. На чертеже изображена схема устройства, реализующего предлагаемый способ. Устройство содержит резистивные 1 и 2 полосы, контактные площадки 3-5, зонды 6-8, источник 9 тока и измеритель 10 напряжения. Контактные площадки 3-5 нанесены на резистивные полосы 1 и 2, зонды 6-8 соединены (находятся в контакте) с контактными площадками 4-5, зонды 6 и 7 соединены с выходом источника 9 тока, а зонды 7 и 8 с входом измерителя 10 напряжения. Зонд 7 соединен также с общей шиной. Способ измерения состоит в следующем. Объект измерения представляет собой резистивную полосу с участками 1 и 2, на которую нанесены контактные площадки 3-5, к которым подведены зонды 6-8. Зонды 6 и 7 соединены с источником 9 тока, а зонды 7 и 8 с измерителем 10 напряжения. Напряжение U, регистрируемое измерителем напряжения, определяется (при его входном сопротивлении, много большем сопротивления резистивной полосы 2 и сопротивления контакта: полоса 2 контактная площадка 5) величиной R₁₄ I, где R₁₄ сопротивление контакта: резистивная полоса 1 контактная площадка 4; I ток источника 9. Поэтому величина контактного сопротивления R_к между резистивной полосой 1 и контактной площадкой 4 определяется как R_к=

Формула изобретения

СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПЕРЕХОДНОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ КОНТАКТА К ТОНКОПЛЕНОЧНЫМ РЕЗИСТОРАМ С ЭЛЕКТРОДАМИ, заключающийся в том, что пропускают ток I заданной величины через два электрода и измеряют напряжение U между двумя электродами, отличающийся тем, что, с целью упрощения процесса измерения резистров с тремя электродами, ток пропускают через один из крайних и средних электродов, напряжение измеряют между вторым крайним и средним электродами, а сопротивление контакта R_к определяют из соотношения .

РИСУНКИ

Рисунок 1