Устройство для вытягивания кристаллов из расплава

Устройство для вытягивания кристаллов из расплава

Реферат

 

1. Устройство для вытягивания кристаллов из расплава, включающее герметичную камеру роста с коаксиально расположенными тиглем для расплава и нагревателем, затравкодержатель, установленный над тиглем с возможностью вращения и осевого перемещения, защитный кожух для стержня из исходного материала с механизмом осевого перемещения стержня, установленный наклонно к вертикальной оси системы вакуумирования камеры роста и подачи в нее инертного газа, отличающееся тем, что, с целью повышения производительности за счет полунепрерывного режима работы, оно снабжено шлюзовой камерой для выращенного кристалла, размещенной по оси камеры роста и по крайней мере одной шлюзовой камерой для стержня из исходного материала со средством ее перемещения относительно камеры роста, шлюзовые камеры имеют вакуумные затворы и системы независимого вакуумирования и подачи инертного газа, а механизм осевого перемещения стержня снабжен гибким элементом.

2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что средство перемещения шлюзовой камеры для стержня из исходного материала выполнено в виде расположенных на одной оси шарнира шкива, взаимодействующего с гибким элементом, и рычага, связанного шарнирно с корпусом шлюзовой камеры для выращенного кристалла.