Способ изготовления элементов коррекции интенсивности электромагнитного излучения

Способ изготовления элементов коррекции интенсивности электромагнитного излучения

Реферат

Способ изготовления элементов коррекции интенсивности электромагнитного излучения, включающий формирование на прозрачной подложке корректирующего поглощающего слоя путем воздействия на подложку корректируемого электромагнитного излучения, отличающийся тем, что, с целью повышения точности коррекции интенсивности электромагнитного излучения в ультрафиолетовом и видимом диапазонах, в том числе со сложным распределением интенсивности, сокращения длительности цикла изготовления элемента коррекции за счет уменьшения числа технологических операций, одну или обе поверхности подложки приводят в контакт с фоторазлагающейся средой, продукты фотодиссоциации которой непрозрачны к корректируемому электромагнитному излучению, а формирование поглощающего слоя проводят путем фотохимического осаждения до установления заданной коррекции.