Способ переработки кубовых остатков производства поликристаллического кремния

Способ переработки кубовых остатков производства поликристаллического кремния

Реферат

Способ переработки кубовых остатков производства поликристаллического кремния, включающий двустадийное хлорирование кубовых остатков в жидкой фазе с получением тетрахлорида кремния, отличающийся тем, что, с целью снижения взрывоопасности процесса и повышения чистоты получаемого тетрахлорида кремния, используют кубовые остатки с массовым соотношением содержания тетрахлорида кремния и сумма полисилан- и полисилоксанхлоридов, равном 1: 0,05 - 0,11, первую стадию хлорирования осуществляют при массовом соотношении хлора и суммы водородсодержащих полисилан- и полисилоксанхлоридов, равном 0,5 - 0,75:1, затем отгоняют тетрахлорид кремния до массового соотношения содержания тетрахлорида кремния и суммы полисилан- и полисилоксанхлоридов, равного 1:1,0 - 1,85, вторую стадию хлорирования проводят при массовом соотношении хлора и суммы водородсодержащих полисилан- и полисилоксанхлоридов, равном 0,75 - 1:1, затем отгоняют хлорид кремния до содержания его в кубовом остатке 1,2 - 5,0 мас.%.