Способ получения пленки заданной толщины

Способ получения пленки заданной толщины

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к измерительной технике. Целью изобретения является расширение технологических возможностей путем получения пленок с заданным распределением показателя преломления по толщине. Для этого предварительно направляют монохроматический свет на поверхность участка контрольного образца, не предназначенную для напыления модулированным потоком вещества, под углом к ней, а на оставшуюся поверхность - по нормали, и производят напыление, в процессе которого осуществляют монотонно ступенчато меняющуюся во времени модуляцию потока вещества, определяют разность фаз пучков излучения, отраженного от обоих участков, и при нулевой разности напыление прекращают, по параметрам осуществленной модуляции рассчитывают коэффициент модуляции, напыляют вещество на подложку и контрольный образец, имеющий два участка, освещают контрольный образец монохроматическим светом по нормали к поверхности, модулируют поток вещества, напыляемого на один из участков контрольного образца, с рассчитанным коэффициентом модуляции, измеряют параметры пучков, полученных при отражении от участков контрольного образца, и по соотношению параметров судят о достижении заданной толщины. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (si)s 6 01 В 11/06

ГОСУДАРСТВЕННЫИ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4372123/24-28 (22) 17.12 87 (46) 07.08.90. Бюл, hL 29 (75) М.Л. Трунов (53) 531.717.1(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

М 1388709, кл. G 01 В 11/06, 1987. (54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПЛЕНКИ ЗАДАННОЙ ТОЛЩИНЫ (57) Изобретение относится к измерительной технике. Целью изобретения является расширение технологических возможностей путем получения пленок с заданным распределением показателя преломления по толщине. Для этого предварительно направляют монохроматический свет на поверхность участка контрольного образца, не предназначенную для напыления модулированным потоком вещества, под углом к ней, а на оставшуюся. поверхность — по норИзобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при получении одно- и многослойных покрытий с заданным распределением показателя преломления по толщине.

Цель изобретения — расширение технологических возможностей путем получения пленок с заданным распределением показателя преломления по толщине, На чертеже изображена устройство для контроля толщины пленки в процессе ее получения.

Устройство содержит лазер 1, светоделители 2-6, зеркала 7 и 8, фотоприемники

9-11 и модулятор 12.

Способ осуществляют следующим абра,>SU„, 1583736 А 1 мали, и производят напыление, в процессе которога осуществляют монотонно ступен чато меняющуюся во времени модуляцию потока вещества, определяют разность фаз пучков излучения, отраженного от обоих участков, и при нулевой разности напыление прекращают, па параметрам осуществленной модуляции рассчитывают коэффициент модуляции, напыляют вещество на подложку и контрольный образец, имеющий два участка, освещают контрольный образец монохроматическим светом по нормали к поверхности, модулируют поток вещества, напыляемого на один из участков контрольного образца, с рассчитанным коэффициентом модуляции, измеряют параметры пучков, полученных при отражении

m участков контрольного образца, и по соотношению параметров судят о достижении заданной толщины. 1 ил.

Монохраматический свет от лазера 1 с помощью светоделителя 4 и зеркала 7 направляют на поверхность П2 участка контрольного образца, не предназначенную для напыления модулированным потоком вещества, под углом к ней, а на поверхность П1 участка контрольного образца, предназначеннуюдля напыления модулированным потоком вещества, по нормали к ней.

Производят напыление на контрольный образец, в процессе которого осуществляют монотонно ступенчато меняющуюся во времени модуляцию потока вещества. Модуляцию начинают осуществлять при коэффициенте модуляции, близком (или равном) к единице. В процессе напыления этот коэффициент ступенчато уменьшают

1583736 через равные интервалы времени на постоянную величину, Определяют разность фаз пучков излучения, отраженного от обоих участков контрольного Образца. Для этого пучок, отраженный От участка П1, с по- 5 мощью светоделителя 5 направляют на фотоприемник 10, туда же направляют и пучок, отраженный от участка П2, с помощью зеркала 8 через светоделитель 5, При нулеьой разности фаз напыление прекращают, по 10 параметрам осуществленной модуляции определяют показатель преломления пленки и соответствующую этому показателю оптическую толщину пленки, По расчетным формулам определяют коэффициент модуляции 15 орМ напылении на кОИТЭОльный Образец и подложку, Осу .цествля!От напыление вещества HB подлОжкy и контрольный Образец, имеюший два участка, . помощь!О светоделителей 2 и 3 и. ерез свегоделители 2, 4, 5 20 и 6 освещают контрольный oG p8I38!.I 4o Ho" хроматическим светом по нормали K ооВАрхности, осуществляют модуляции потока вещества, напь!ляемОГО HB участок П1 контрольного образца, с Определенным по рас- 25 ч8тным формулам кo!ôôèциентОм модуляции, ФОТОприем!.!иками 9 N 1 1 измеряют параметры пучков, полу-,енных при отражении от участков П2 и П1 и прошедших по пути к фотоприем!-!икам 9 и 11 соатветст- 30 вен но через светодели гели 3 ; 6, по соотношени!О параметров !.удят о дос.!ижении заданнОй Толщины.

Формула изобретения

CAocoQ получений пленки заданнОЙ 35 толщины, з&кл!Оча!Ощ!!йся в том, что Г!роизводя !. !.!Впыле! !Ие вещесл-ва на подложку и контрольныи Об !Вэец, име!Ощии дв,"! j !88!ка, освещают контрольный образец монохроматическим светом по нормали к поверхности, модулируют поток вещества, напыляемого на один из участков контрольного образца, измеряют параметры пучков, полученных при отражении или пропускании света через оба участка, и по соотношению параметров судят о достижении заданнойтолщины, отл ича ю щи йся тем, что, с целью расширения технологических возможностей путем получения пленок с заданным распределением показателя преломления по толщине, перед напылением на подложку и контрольный образец направляют монохроматический свет на поверхность участка контрольного образца, не предназначенную для напыления модулированным потоком вещества, под углом к ней, а.на поверхность участка контрольного образца, предназначенную для напыления модулированным потоком вещества, по нормали к ней, производят напыление на контрольный образец и в процессе напыления осуществляют монотонно ступенчато меняющуюся во времени модуляцию потока вещества, определяют разность фаз пучков излучения, отраженного от обоих участков, и при нулевой разности прекращают напыление, по параметрам осуществленной модуляции определяют показатель преломления пленки и соответствующую этому показателю оптическую толщину пленки, а модуляцию потока вещества, напыляемого на один из участков контрольного образца при напылении на контрольный образец и подложку, осуществляют с коэффициентом модуляции, выбираемым в зависимости От оптической толщины, 1583736

Составитель В.Костюченко

Редактор Н.Тупица Техред М.Моргентал Корректор ЛЛатай

Заказ 2245 Тираж 490 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР . 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб„4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101