ТРУНОВ МИХАИЛ ЛЕОНТЬЕВИЧ

  Изобретение относится к измерительной технике и может использоваться для контроля толщин оптических покрытий . Цель изобретения - повьшение точности контроля толщины пленки достигается обеспечением возможности измерения толщин, не кратных четверти длины волны контролируемого излучения . При напылении вещества на подложку и контрольный образец модулируют количество вещества, напыл...

  Изобретение относится к измерительной технике, а именно к устройствам для измерения толщины покрытий оптическими методами. Целью изобретения является расширение технологических возможностей путем одновременного определения толп;ины, показателя преломления пленки и остаточных напряжений в ней. Указанная цель достигается тем, что в известное устройство введены лазер 11, светоделите...

  Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при измерении толщины и показателя преломления покрытий. Целью изобретения является повышение достоверности и точности измерений за счет снижения влияния внешних вибраций. Система зеркал формирует из излучения лазера два луча света и направляет их на подложку под разными углами, отраженное от подложки излучени...

  Изобретение относится к измерительной технике. Целью изобретения является расширение технологических возможностей путем получения пленок с заданным распределением показателя преломления по толщине. Для этого предварительно направляют монохроматический свет на поверхность участка контрольного образца, не предназначенную для напыления модулированным потоком вещества, под углом к ней...

  Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при получении однои многослойных покрытий с заданным распределением показателя преломления по толщине. Целью изобретения является расширение технологических возможностей путем получения пленок с заданным распределением показателя преломления по толщине. Монохроматический свет направляют на часть поверхности ко...

  Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для определения внутренних напряжений в тонкопленочных покрытиях. Цель изобретения -- повышение производительности измерений величины начальных напряжений в покрытиях . Способ заключается в том, что на подложку наносят слои покрытия, толщины которых отличаются на одну и ту же величину , и измеряют силу, действующую на...

  Изобретение относится к измерительной технике н может быть использовано при определении внутренних напряжений в тонких пленках. Целью изобретения является повышение точности путем уменьшения влияния нестабильности температуры. Излучение лазера направляется на блок преобразования излучения, выполненный в виде прозрачной пластины со сферической выемкой, проходит его и попадает на п...