Способ получения пленки заданной толщины

Способ получения пленки заданной толщины

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при получении однои многослойных покрытий с заданным распределением показателя преломления по толщине. Целью изобретения является расширение технологических возможностей путем получения пленок с заданным распределением показателя преломления по толщине. Монохроматический свет направляют на часть поверхности контрольного образца, не предназначенную для напыления модулированным потоком вещества, под углом к ней, а на остальную часть поверхности образца по нормали к ней. Производят напыление на контрольный образец, в процессе напыления осуществляют модуляцию потока вещества и изменяют угол падения света. Определяют разность фаз пучков излучения, отраженных от участков контрольного образца. При нулевой разности фаз напыление прекращают. По параметрам осуществленной модуляции находят коэффициент модуляции при напылении на контрольный образец и подложку, осуществляют напыление вещества на подложку и контрольный образец, имеющий два участка. При этом контрольный образец освещают монохроматическим светом и осуществляют модуляцию потока вещества с найденным коэффициентом модуляции. Определяют параметры отраженного света и по ним судят о достижении заданной толщины. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

ÄÄSUÄÄ 1583737 А 1 (g))5 G 01 В 11/06

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4411140/24 28 (22 ) 17. 03.88 (46) 07.08.90. Бюл. № 29 (75) M.Ë. Трунов (53) 531.717.1 (088.8) (56) Авторское свидетельство, СССР № 13887Р9, кл. Г 01 В 11/06, 1987. (54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПЛЕНКИ ЗАДАННОЙ

ТОЛБУХИНЫ (57) Изобретение относится к измерительной технике и может бытыиспольэовано при получении одно - и многослойньм покрытий с заданным распределением показателя преломления по толщине. Целью изобретения является расширение технологических возможностей путем получения пленок с заданным распределением показателя преломления по толщине. Монохроматический свет направляют на часть поверхности контрольного образца, не предназначенную для напыления модулированным потоком

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при получении одно- и многослойных покрытий с заданным распределением показателя преломления по толщине.

Цель изобретения — расширение технологических возможностей путем получения пленок с заданным расположением показателя преломления по толщине.

На чертеже изображено устройство для контроля толщины пленки в процес се ее получения.

2 вещества, под углом к ней, а на остальную часть поверхности образца — по нормали к ней. Производят напыление на контрольный образец, в процессе напыления осуществляют модуляцию потока вещества и изменяют угол падения света. Определяют разность фаэ пучков излучения, отраженных от участков контрольного образца. При нулевой разности фаэ напыление прекращают. По параметрам осуществленной модуляции находят коэффициент модуляции при напылении на контрольный образец и подложку, осуществляют напыление вещества на подложку и контрольный образец, имеющий два участка. При этом контрольный образец освещают монохроматическим светом и осуществляют модуляцию потока вещества с найденным коэффициентом модуляции..Определяют параметры отраженного света и по í ì судят о достижении заданной толщины.

1 ил.

Устройство содержит лазер 1, све.тоделители 2-6, зеркала 7 и 8, фотоприемники 9-10 и модулятор 12.

Способ осуществляют следующим образом.

Монохроматический свет от лазера

1 с помощью световодителя 4 и зеркала 7 направляют на поверхность П2 участка контрольного образца, не предназначенную для напыления модулированным потоком вещества, под углом о(к ней, а на поверхность П1 участка контрольного образца, предназначенную для напыления модулиро158.З737 ванным потоком вещества, по нормали к ней. Задают шаг изменения угла, под которым направляют свет. Производят напыпение на. контрольный образец, в

5 процессе которого осуществляют модуляцию потока вещества с коэффициентом модуляции р близким к единице (О, 75 < P (1,00), и ступенчато изме- няют с заданным шагом угол Е падения света на поверхность участка контрольного образца, не предназначенную дпя напыления модулированным потоком

Вещества ° Определяют разность фаэ пучков излучения, отраженного от обоих участков контрольного образца ..

Для этого пучок, отраженный от участка П1, с помощью светоделителя 5 направляют на фотоприемник 10, туда же направляют и пучок, отраженный от. участка П2, с помощью зеркала 8 через светоделитель 5. При нулевой разности фаз напыление прекращают, по параметрам осуществленной модуляции определяют показатель преломления 25 . пленки и соответствующую этому показателю оптическую толщину пленки. По расчетным формулам определяют коэффициент модулирования при напылении на контрольный образец и подложку.

Осуществляют напыление вещества на подложку и контрольный образец, имеющий два участка. С помощью светоделителей 2 и 3 и через светоделители

2, 4, 5 и 6 освещают образец монохрома иче им светом по нормали к по- 35 верхности, осуществляют модуляцию потока вещества, напыпяемого на участок . П1 контрольного образца, с определенным по расчетным формулам коэффициентом модуляции. Фотоприемниками 9и 11 измеряют параметры пучков, получен ных при отражении от участков П2 и П1

И прошедших по пути к фотоприемникам

9 и 11 соответственно через светоделители 3 и 6. По соотношению параметров судят о достижении заданной толщины, Формула изобретения

Способ получения пленки заданной толщины, заключающийся в том, что 50 производят напыление вещества на подло>кку и контрольный образец, имеющий два участка, освещают контрольный образец монохроматическим светом по нормали к поверхности, модулируют поток вещества, напыляемого на один из участков контрольного образца, измеряют параметры пучков, полученных при отражении или пропускании света через оба участка, и по соотношению параметров судят о достижении заданной толщины, отличающийся тем,.что, с целью расширения техноло- гических возможностей путем получения пленок с заданным распределением пока-. зателя преломления по толщине, перед напып ением на подл ожку и контр ол ь ный образец направляют монохроматический свет на поверхность участка контрольного образца, не предназначенную для напыления модулированным потоком вещества, под углом к ней, а на поверхность участка контрольного образца, предназначенную для напыления модулированным потоком вещества, по нормали к ней, задают шаг изменения угла, под которым направляют свет, производят. напыление на контрольный образец, в процессе напыления осуществляют модуляцию потока вещества с коэффициентом модуляции, близким к еди° нице, и ступенчато изменяют с заданным шагом угол падения света на поверхность участка контрольного об- разца, не предназначенную. для напыления модулированным потоком вещества, определяют разность фаз пучков .излучения, отраженного от обоих участков, и при нулевой разности прекращают напыление, по параметрам упо-. мянутой модуляции определяют показатель преломления пленки и соответствующую этому показателю оптическую толщину пленки, а модуляцию потока вещества, напыляемого на один из участков контрольного образца при напылении на контрольный образец и подложку, осуществляют с коэффициентом модуляции, выбираемым в зависимости от оптической толщины.! 1583 73 7

Составитель В. Костюченко

Редактор Н. Тупица Техред А.Кравчук Корректор N. Кучерявая й

Заказ 2246

Тираж 490

Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул. Гагарина, 101