Донорный раствор для диффузионного легирования кремния

Донорный раствор для диффузионного легирования кремния

Реферат

Донорный раствор для диффузионного легирования кремния, содержащий растворитель, тетраэтоксисилан, катализатор, ортофосфорную кислоту и соединение мышьяка, отличающийся тем, что, с целью повышения глубины диффузионных слоев до 100 мкм при сохранении высокой поверхностной концентрации, в качестве катализатора использована азотная кислота, а в качестве соединения мышьяка использована ортомышьяковая кислота, причем соотношение ортофосфорной и ортомышьяковой кислот составляет от 8:1 до 1:1 по объему при следующем соотношении компонентов, мас.%: Растворитель - 45 - 62 Тетраэтоксисилан - 19,4 - 28,5 Азотная кислота - 0,2 - 1,5 Ортофосфорная и ортомышьяковая кислота - 18 - 31