Интерферометр для контроля прогибов квазиплоских поверхностей деталей

Интерферометр для контроля прогибов квазиплоских поверхностей деталей

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к измерительной технике и является усовершенствованием изобретения по авт.св.N578562. Цель изобретения - расширение диапазона контролируемых прогибов деталей. Пучки света, отраженные от горизонтальной гипотенузной грани призмы 2 и детали 7, выходят из призмы и отражаются от зеркала 3 в направлении регистратора 6. Угол освещения поверхности контролируемой детали регулируется с помощью зеркала 1 путем поворота сектора 4, зубчатого колеса вокруг оси О<SB POS="POST">1</SB>. Синхронно с наклоном зеркала 1 наклоняется зеркало 3 за счет зубчатого зацепления сектора 5 с сеткором 4. При этом положение выходного пучка света на регистраторе 6 не меняется. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

161384 А2 (19) (11) (53)5 С 01 В 9/02

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

11 ь1 г

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

К АBTOPGHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) 578552 (21) 4362507/24-28 (22) 13.01.88 (46) 15.12.90. Бюл. № 46 (72) Д.Л. Богачев, A.A.Âoåâîäèí, В.M. Гржехник-Жуковский и Ю.М. Левиков (53) 531.715(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

¹- 578562, кл. С 01 В 9/02, 1977. (54) ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ IIPOГИБОВ КВАЗИПЛОСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ ДЕТАЛЕЙ (57) Изобретение относится к измерительной технике и является усовершенствованием изобретения по авт. св.

¹ 578562. Пель изобретения — расширение диапазона контролируемых прогибов деталей ° Пучки света, отраженные от горизонтальной гипотенузной грани .призмы 2 и детали 7, выходят из призмы и отражаются от зеркала 3 в направлении регистратора 6, Угол освещения поверхности контролируемой детали регулируется с помощью зеркала 1 путем поворота сектора 4 зубчатого колеса вокруг оси О(. Синхронно с наклоном зеркала 1 наклоняется зеркало 3 эа счет зубчатого зацепления сектора 5 с сектором 4., При этом положение выходного пучка света на регистраторе 6 не меняется. 1 ил, 1613849

Формула изобретения

Интерферометр для контроля прогибов квазиплоских поверхностей деталей по авт. св. В 578562, о т— л и ч а ю шийся тем, что, с целью расширения диапазона контролируемых прогибов квазиплоских поверхностей деталей, он снабжен дополнительным зеркалом, установленным с возможностью поворота вокруг оси, перпендикулярной плоскости распространения светового пучка последовательно,за призмой, и двумя секторами зубчатых колес, соединенными соответственно с каждым зеркалом так, что образуют между собой зубчатое зацепление.

Составитель М. Минин

Техред Л.Олийнык

Корректор T. Kon6

Редактор А. Огар

Заказ 3885 Тираж 492 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям п.и ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгорсд, ул. Гагарина, 101

Из обретение относится к измерительной технике и является усовершенствованием изобретения по авт. св, У 578562.

Пель. изобретения - расширение диапазона контролируемых прогибов деталей, На чертеже приведена схема интерферометра для контроля прогибов ква- 1р зиплоских поверхностей деталей.

Интерферометр содержит осветитель (не показан), выполненный в виде лазера и. коллиматора, зеркало t, призму 2, дополнительное зеркало 3, 15 два сектора 4 и 5 зубчатых колес, образующйе зубчатое зацепление и соединенные с зеркалами 1 и 3 соответственно, и регистратор 6.

Интерферометр работает следующим образом.

Расширенный коллимированный световой пучок падает на зеркало 1 и отражается в направлении наклонной грани призмы 2, частично отражается 25 от ее горизонтальной грани, а частично проходит сквозь нее и отражается от поверхности контролируемой детали 7. Оба отраженных пучка выходят иэ призмы через вторую наклоннук. 3< грань и отражаются от зеркала 3 в направлении регистратора 6. Зеркало 1 жестко соединено с сектором 4 зубчатого колеса, вращающимся вокруг оси

О . При крайнем верхнем положении зеркала 1 обеспечивается падение ос35 вещающего пучка на горизонтальную грань призмы под углом, близким к полному внутреннему отражению. При этом цена деления интерференционной полосы равняется нескольким микрометрам. При крайнем нижнем положении зеркала (показано пунктиром), угол падения уменьшается до нескольких градусов и цена деления полосы уменьшается до десятых долей микрометра.

В указанных пределах угол поворота зеркала составляет около 20

Сектор 4 находится в зубчатом зацеплении с таким.же сектором 5, благодаря чему зеркало 3 на выходе призмы при.повороте зеркала 1 поворачивается на такой же угол во встречном направлении. Вследствие этого световые пучки, выходящие из призмы, всегда попадают на регистрирующий узел, под одним и тем же углом.