Пленкообразующий раствор для легирования кремния мышьяком

Пленкообразующий раствор для легирования кремния мышьяком

Реферат

Пленкообразующий раствор для легирования кремния мышьяком, содержащий тетраэтоксисилан, этиловый спирт, ортомышьяковую кислоту и катализатор, отличающийся тем, что, с целью повышения однородности поверхностного сопротивления и снижения разброса по глубине диффузионных слоев толщиной до 8 мкм, раствор дополнительно содержит воду, а в качестве катализатора используют азотную или соляную кислоты при следующем количественном соотношении компонентов, об.%: Тетраэтоксисилан - 16,0 - 26,0 Этиловый спирт - 61,3 - 73,9 Ортомышьяковая кислота - 3,1 - 6,8 Азотная (соляная) кислота - 0,5 - 1,4 Вода - 4,5 - 6,5