Патент ссср 162740

Патент ссср 162740

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

ОПИСАНИЕ

ИЗ ОБ РЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ № 162740

Класс

48d,,40„

48b, 11еа

МПК

С 231

С 23с

Заявлено 03.1.1963 (¹ 812232/22-2) ГОСУДАРСТВЕННЫИ

КОМИТЕТ IIO ДЕЛАМ иЭОБРетений и ОткРъ1тиЙ

СССР

УДК

Опубликовано 6 . V 1964. Бюллетень № 10

Т

1 !

Л. П. Александрова, Л. Я. Кроль и В. В. Ра

Подписная группа ¹ 110

СПОСОБ ФУТЕРОВКИ КОНТЕЙНЕРОВ

Известен способ ф утеровки контейнеров, например, из кварца, предназначенных для металлургической обработки полупроводниковых соединений, например арсенида галлия, нитридом алюминия.

Наиболее распространенным мате риалом для контейнеров, применяемых для металлургической обработки полупроводниковых материалов, в том числе арсенида галлия, является чистый кварц. Известны также контейнеры из нитрида алюминия, изготовленные методами порогнксвой технологии.

Отличие предлагаемого способа заключается в том, что на контейнеры из кварца сначала наносят напылением в вакууме слой алюминия, а затем нанесенный слой подвергают азотированию нагреванием в атмосфере азота нли аммиака.

В результате на контейнере образуется плотная инертная пленка нитрида алюмин ия высокой степени чистоты, исключающая загрязнение полупроводниковых материалов гримесями из контейнера.

Предмет изобретения

Способ футеровки контейнеров, например, из кварца, предназначенных для металлургической обработки полупроводнHIKoBых соединений, например арсенида галлия, нитридом

a,9þMèíèÿ, отл и ч а ю шийся тем, что, с цель1о исключения загрязнения соединений материалом ко нтейнера и получения слоя нитрида алюминия высокой степени чистоты, сначала наносят напылением в вакууме слой алюминия, а затем нанесснный слой подвер1ают азотированню нагреванием в атмосфере азота илн аммиака.