Подложки, покрытые смесями титановых и алюминиевых материалов, способы получения подложек и катодные мишени из металлических титана и алюминия
Изобретение относится к способам нанесения покрытий из титан- и алюминийсодержащих мишеней. Используют стеклянную подложку, имеющую площадь поверхности более 30 см2. На поверхности подложки создают блок покрытий, который включает, по меньшей мере, одну диэлектрическую пленку и, по меньшей мере, один металлический слой. Выдерживают подложку в вакуумированной камере. Поддерживают атмосферу, содержащ...