Подложки, покрытые смесями титановых и алюминиевых материалов, способы получения подложек и катодные мишени из металлических титана и алюминия
Патент 2335576
Авторы
Правообладатели
Классы МПК
- B32B7/02 - изделия изготовленные из слоев с различными физическими свойствами, например из слоев различной твердости
- B32B15/04 - со слоями, один из которых выполнен из металлов, являющихся основной или единственной составной частью его, а другой, расположенный рядом с ним, выполнен целиком из специфицированного материала
- C03C17/36 - по меньшей мере с одним покрытием из металла
- C23C14/06 - характеризуемые покрывающим материалом (C23C 14/04 имеет преимущество)
Подложки, покрытые смесями титановых и алюминиевых материалов, способы получения подложек и катодные мишени из металлических титана и алюминия
Иллюстрации
Изобретение относится к способам нанесения покрытий из титан- и алюминийсодержащих мишеней. Используют стеклянную подложку, имеющую площадь поверхности более 30 см2. На поверхности подложки создают блок покрытий, который включает, по меньшей мере, одну диэлектрическую пленку и, по меньшей мере, один металлический слой. Выдерживают подложку в вакуумированной камере. Поддерживают атмосферу, содержащую газ, выбираемый из группы, состоящей из инертного газа, азота, кислорода и их смесей. Распыляют удлиненную катодную мишень, содержащую от 1 до 99 мас.% титана и от 1 до 99 мас.% алюминия для нанесения титан- и алюминийсодержащего защитного покрытия на металлический слой для защиты металлического слоя от окисления или последующего нагревания покрытой подложки. Получают покрытие, обладающее высокой коррозионной стойкостью, низким поверхностным сопротивлением и заданными оптическими свойствами. 10 з.п. ф-лы, 20 ил., 10 табл.
Реферат
Текст описания приведен в факсимильном виде.
1. Способ нанесения покрытий, содержащих титан и алюминий, включающий: а) обеспечение стеклянной подложки, имеющей площадь поверхности более 30 см2, где на поверхности подложки создан блок покрытий, который включает, по меньшей мере, одну диэлектрическую пленку и, по меньшей мере, один металлический слой; b) выдерживание подложки в вакуумированной камере, с) поддержание атмосферы, содержащей газ, выбираемый из группы, состоящей из инертного газа, азота, кислорода и их смесей, и d) распыление удлиненной катодной мишени, содержащей от 1 до 99 мас.% титана и от 1 до 99 мас.% алюминия, для нанесения титан- и алюминийсодержащего защитного покрытия на металлический слой для защиты металлического слоя от окисления или последующего нагревания покрытой подложки.
2. Способ по п.1, в котором атмосфера содержит, по меньшей мере, один из следующих газов: инертный газ, кислород, азот и их смеси, катодная мишень дополнительно содержит кремний, а распылением напыляют покрытие, содержащее до 40 мас.% кремния.
3. Способ по п.1, в котором мишень содержит от 20 до 70 мас.% алюминия и от 30 до 80 мас.% титана.
4. Способ по п.2, в котором мишень содержит от 5 до 20 мас.% какого-либо другого металлсодержащего материала.
5. Способ по п.2, в котором мишень содержит от 5 до 20 мас.% кремния.
6. Способ по п.1, в котором атмосфера содержит азот, а покрытие содержит материалы, выбираемые из титана, алюминия, нитрида титана, нитрида алюминия, нитрида титан-алюминия и их комбинаций.
7. Способ по п.1, в котором атмосфера содержит азот и кислород, и покрытие содержит материалы, выбираемые из титана, алюминия, оксида титана, оксида алюминия, оксида титан-алюминия, нитрида титана, нитрида алюминия, нитрида титан-алюминия, оксинитрида титана, оксинитрида алюминия, оксинитрида титан-алюминия и их комбинаций.
8. Способ по п.1, в котором атмосфера содержит кислород и инертный газ, а покрытие содержит материалы, выбираемые из титана, алюминия, оксида титана, оксида алюминия, оксида титан-алюминия и их смесей.
9. Способ по п.2, в котором атмосфера в основном состоит из инертного газа, а покрытие в основном состоит из титана и алюминия.
10. Способ по п.2, в котором атмосфера содержит кислород, а покрытие содержит оксид титана и оксид алюминия.
11. Способ по п.2, в котором атмосфера содержит кислород и азот, а покрытие содержит оксинитрид титан-алюминия-кремния.