Способ определения степени пористости слоев пористого кремния

Способ определения степени пористости слоев пористого кремния

Реферат

Способ определения степени пористости слоев пористого кремния, заключающийся в стравливании слоев пористого кремния, отличающийся тем, что, с целью упрощения способа и повышения экспрессности, проводят локальное травление путем нанесения на поверхность пористого слоя капли 4 - 40%-ного раствора NaOH или КОН с последующей выдержкой в течение 2 - 20 мин, измерением глубины области травления (h, мкм) и расчетом степени пористости (Р,%) по формуле Р = 25 + 3h, при степени пористости, меньшей 30%, промывают поверхность пористого кремния водой, осушают поверхности, производят локальное травление каплей раствора, состоящего из 6 - 10 моль/л HNO₃ и 1 - 3 моль/л HF с последующей выдержкой в течение 1 - 2 мин.