Способ очистки хлористого водорода

Способ очистки хлористого водорода

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к очистке хлористого водорода, используемого в химической и электронной промышленности, и способствует повышению степени его чистоты. Газообразный хлористый водород, содержащий примеси органических соединений в количестве 0,08% (в пересчете на углерод), пропускают через волокнистый фильтрующий материал, представляющий собой сополимер тетрафторэтилена с винилиденфторидом - фторопласт Ф-42 и процесс ведут при (-30) - (-50)°С и линейной скорости фильтрации 1-10 см/с. Степень очистки от органических примесей менее об.%. 1 табл.

союз соВетских

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (я)5 С 01 В 7/07

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

2 (21) 4692981/26 (22) 29.05,89 (46) 15.06.91. Бюл. ¹ 22 (72) Е.В. Атаманюк, Ю,Н. Филатов, А.Д. Шепелев, Л.Ф; Чуприна, В,А. Быков, Е.Н, Макаревич, Н.П. Юшкин, Б.И. Шаталов, В.Е.

Бабенко, И,М. Мазурин и В.Т. Салехов (53) 546.131(088.8) (56) Антонов В.Н., Крашенинникова А.А„

Пасманик М.И. Разработка метода получения хлористого водорода особой чистоты.

Отчет, госрег. ¹ 68030206, 1972, с, 55. (54) СПОСОБ ОЧИСТКИ ХЛОРИСТОГО ВОДОРОДА

Изобретение относится к тонкой очистке хлористого водорода, который может быть использован в химической и электронной промышленности.

Целью изобретения является повышение степени очистки.

Способ осуществляют следующим образом.

Пример. Газообразный хлористый водород, содержащий примеси органических соединений в количестве 0,08 (в пересчете на углерод), подают на охлажденный фильтр, заполненный волокнистым сополимером тетрафторэтилена с винилиденфторидом с диаметром волокна 1 мкм. Процесс проводят в установке низкотемпературной фильтрации, Газ пропускают через фильтр с линейной скоростью 1--10 см/с при температуре (-30)+50) С.

Выходящий после фильтра .хлористый водород содержит примеси органических

„„Я „„1655899 А1 (57) Изобретение относится к очистке хлористого водорода, используемого в химической и электронной промышленности, и способствует повышению степени его чистоты. Газообразный хлористый водород, содержащий примеси органических соединений в количестве 0,08ь (в пересчете на углерод), пропускают через волокнистый фильтрующий материал, представляющий собой сополимер тетрафторэтилена с винилиденфторидом— фторопласт Ф-42 и процесс ведут при (-30)— (-50) С и линейной скорости фильтрации

1 — 10 см/с. Степень очистки от органических примесей менее 1 10 об. . 1 табл.

-4 веществ менее 1: 10 об. (no прототипу

7,5 10 $), Данные по примеру сведены в таблицу, При реализации предлагаемого способа обеспечивается улучшение качественных характеристик хлористого водорода, что дает возможность при использовании его в электронной промышленности, в частности в эпитаксиальной технологии, увеличить выход годных в ряде изделий до 15 .

Формула изобретения

Способ очистки хлористого водорода от примесей органических соединений, включающий его пропускание через волокнистый фильтрующий материал при охлаждении. о тл и ч а ю шийся тем, что, с целью повышения степени очистки, в качестве фильтрующего материала используют сополимер тетрафторэтилена с винилиденфторидом и процесс ведут при температуре (-30)-(-50) C и линейной скорости фильтрации 1 -10 см/с.

1655899

Линейная скорость фильтраии, см/с

Температура, С

Вид фильтрующего материала

Пример

Примечание

Степень очистки от органических примесей(в пересчете íà угле о

Менее 1 10 об.%

То же

-30 — 40 — 50

3

5

I°

75 10" об%

Порядка 1 10" об.% — 25 — 20

-60

Фторопласт Ф вЂ” 42

То же

Фторопласт Ф-42

0,5

Фторопласт Ф вЂ” 42 — 40

Редактор А. Маковская

Заказ 2027 Тираж 309 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГК)ll СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул,l-àãàðèíà. 101

Фторопласт Ф-42

Фторопласт Ф-42

Фторопласт Ф вЂ” 42

Фильтр Петрякова из перхлорвикила (прототип)

Фторопласт Ф-42

Забивка материала фильтра

Частичная конденсация хлористого водорода

Забивка материала фильтра

Разрушение материала

Составитель Т. Докшина

Техред М.Моргентал Корректор И. Муска