БЫКОВ ВЛАДИМИР АНАТОЛЬЕВИЧ

  СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПОВЕРХНОСТНОГО ЗАРЯДА В МДП СТРУКТУРАХ, включающий воздействие поперечного магнитного поля на структуру, отличающийся тем, что, с целью повышения точности определения поверхностного заряда, измеряют вольт-фарадную характеристику до воздействия магнитного поля на структуру и после воздействия, затем определяют напряжение .плоских зон по отклонению эксперименталь...

  Изобретение относится к области газоаиалитической техники. При определении концентрации влаги точность повышается, если токовую ячейку с оксидом фосфора (V) термостатируют в интервале от температуры прекращения взаимодействия оксида фосфора с хлороводородом до температуры начала конденсации влаги в хлороводороде. i Сс(ОЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК (fQ (И) 2! А1 (д...

  Изобретение относится к электротехнической и электронной технике, а именно к полупроводниковой технологии , а также к ряду смежных областей. Цель - повышение степени очистки поверхности за счет уменьшения содержания на ней органических и неорганических загрязнений. Отмывку поверхности кремния осуществляют в аммиачном растворе с ,5 при температуре 40-90 С, причем в процессе от-; м...

  Изобретение относится к очистке хлористого водорода, используемого в химической и электронной промышленности, и способствует повышению степени его чистоты. Газообразный хлористый водород, содержащий примеси органических соединений в количестве 0,08% (в пересчете на углерод), пропускают через волокнистый фильтрующий материал, представляющий собой сополимер тетрафторэтилена с винил...